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1. (WO2001027026) ELECTROMECHANICAL COMPONENT AND METHOD FOR PRODUCING SAID COMPONENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/027026    International Application No.:    PCT/EP2000/009814
Publication Date: 19.04.2001 International Filing Date: 06.10.2000
Chapter 2 Demand Filed:    26.04.2001    
IPC:
B81B 7/00 (2006.01), F04B 43/04 (2006.01), F15C 5/00 (2006.01), G01P 1/02 (2006.01), G01P 15/08 (2006.01), G01P 15/125 (2006.01)
Applicants: HAHN-SCHICKARD GESELLSCHAFT FÜR ANGEWANDTE FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Wilhelm-Schickard-Strasse 10, 78052 Villingen-Schwenningen (DE) (For All Designated States Except US).
KÜCK, Heinz [DE/DE]; (DE) (For US Only).
GIOUSOUF, Metin [GR/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: KÜCK, Heinz; (DE).
GIOUSOUF, Metin; (DE)
Agent: SCHOPPE, Fritz; Schoppe, Zimmermann, Stöckeler & Zinkler, Postfach 71 08 67, D-81458 München (DE)
Priority Data:
199 48 613.1 08.10.1999 DE
Title (DE) ELEKTROMECHANISCHES BAUELEMENT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DESSELBEN
(EN) ELECTROMECHANICAL COMPONENT AND METHOD FOR PRODUCING SAID COMPONENT
(FR) COMPOSANT ELECTROMECANIQUE ET PROCEDE DE FABRICATION
Abstract: front page image
(DE)Ein elektromechanisches Bauelement (10) besteht aus einem Polymerkörper (12), der einen mechanisch aktiven Teil (14a, 14b, 14c) und einen Rahmen (18) aufweist, und aus einer Metallschicht (30), die den mechanisch aktiven Teil zur mechanischen Stabilisierung desselben zumindest teilweise bedeckt, wobei ein Bereich des Polymerkörpers (12), auf dem die Metallschicht (30) vorgesehen ist, aus einem ersten Polymermaterial besteht, das nasschemisch metallisierbar ist, und wobei ein anderer Bereich, auf dem keine Metallschicht vorgesehen ist, aus einem zweiten Polymermaterial besteht, das nasschemisch nicht metallisierbar ist. Das elektromechanische Bauelement kann ein Beschleunigungssensor, ein Drehratensensor, ein Mikroventil, eine Mikropumpe, ein Drucksensor oder ein Kraftsensor sein. Das elektromechanische Bauelement verursacht bei seiner Herstellung im Gegensatz zu elektromechanischen Bauelementen, die durch eine Silizium-Technologie hergestellt werden, drastisch reduzierte Kosten, da zur Herstellung statt der aufwendigen Silizium-Technologie einfache Spritzguss- und/oder Prägeverfahren eingesetzt werden können.
(EN)The invention relates to an electromechanical component (10) comprising a polymeric body (12) consisting of a mechanically active component (14a, 14b, 14c), a frame (18) and a metal layer (30). Said metal layer at least partially covers a mechanically active part in order to mechanically stabilize the same, whereby a region of the polymer body (12) carrying said metal layer (30), comprises a first polymer material which can metallicized in a wet chemical process. Another region which does not have a metal layer comprises a second polymer material which can not be metallized in a wet chemical process. Said electromechanical component can be an acceleration sensor, a rotation speed sensor, a microvalve, a micropump, a pressure sensor or a power sensor. Production of said electromechanical component incurs substantially lower costs compared to electromechanical components produced using silicon-based technology because said production process involves simple injection-molding and/or stamping instead of complicated silicon-based technology.
(FR)L'invention concerne un composant électromécanique (10) composé d'un corps polymère (12) présentant une partie mécaniquement active (14a, 14b, 14c) et un cadre (18), et d'une couche métallique (30) recouvrant au moins partiellement la partie mécaniquement active pour la stabiliser mécaniquement. Une zone du corps polymère (12) destinée à recevoir la couche métallique (30) est composée d'un premier matériau polymère pouvant être métallisé par voie chimique humide, et une autre zone ne recevant pas de couche métallique est composée d'un deuxième matériau polymère ne pouvant pas être métallisé par voie chimique humide. Ce composant électromécanique peut être un capteur d'accélération, un capteur de la vitesse de rotation, une microvanne, une micropompe, un capteur de pression, ou un capteur de force. Contrairement à des composants électromécaniques fabriqués au moyen de la technologie au silicium, la fabrication dudit composant électromécanique engendre des frais extrêmement réduits étant donné qu'elle fait intervenir de simples procédés de moulage par injection et/ou d'estampage au lieu de la technologie au silicium coûteuse.
Designated States: CN, JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)