WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2001024233) WAFER ATMOSPHERIC TRANSPORT MODULE HAVING A CONTROLLED MINI-ENVIRONMENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/024233    International Application No.:    PCT/US2000/027015
Publication Date: 05.04.2001 International Filing Date: 28.09.2000
Chapter 2 Demand Filed:    23.04.2001    
IPC:
H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway, Fremont, CA 94538 (US)
Inventors: KAVEN, Faro, F.; (US).
JACOB, David, E.; (US).
LARSON, Dean, Jay; (US).
MARASCHIN, Martin, R.; (US)
Agent: PENILLA, Albert, S.; Martine and Penilla, LLP, 710 Lakeway Drive, Suite 170, Sunnyvale, CA 94085 (US)
Priority Data:
09/410,190 30.09.1999 US
Title (EN) WAFER ATMOSPHERIC TRANSPORT MODULE HAVING A CONTROLLED MINI-ENVIRONMENT
(FR) MODULE DE TRANSPORT ATMOSPHERIQUE DE PLAQUETTES A MINI-ENVIRONNEMENT REGULE
Abstract: front page image
(EN)An atmospheric transport module is provided. The module includes an enclosed housing having a top region, a central region, a bottom region, and a load cell region. A blower is located in the top region of the enclosed housing and is configured to generate a flow of air downward into the central region. A shelf in the load cell region defines a separation between the central region and the bottom region of the enclosed housing. The shelf is at least partially spaced apart from a wall of the load cell region to thereby define a slot behind the shelf. A perforated sheet is configured to extend horizontally from the shelf and further define the separation between the central region and the bottom region. In this example, air flow generated by the blower is restricted from freely flowing through the perforated sheet and is partially caused to be redirected toward the shelf of the load cell, through the slot and into the bottom region of the enclosure housing. A cassette having one or more wafers is configured to sit on the shelf in the load cell and thus be subjected to the redirected air flow. This redirected air flow will thus gently flow over the surfaces of the wafers and assist in removing post-process gases and particles from over the wafer surfaces while the wafers temporarily sit in the atmospheric transport module.
(FR)L'invention concerne un module de transport atmosphérique. Le module comprend un logement fermé présentant une partie supérieure, une partie centrale, une partie inférieure et une partie de cellule de charge. Une soufflante est située dans la partie supérieure du logement fermé et est configurée pour générer un flux d'air descendant dans la partie centrale. Une tablette située dans la partie de cellule de charge définit une séparation entre la partie centrale et la partie de fond du logement fermé. La tablette est espacée au moins partiellement d'une paroi de la partie de cellule de charge afin de définir ainsi une fente derrière la tablette. Une plaque perforée est configurée pour s'étendre horizontalement à partir de la tablette et définir également la séparation entre la partie centrale et la partie de fond. Dans cet exemple, un écoulement d'air produit par la soufflante est empêché de s'écouler librement à travers la plaque perforée et est réorienté partiellement vers la tablette de la cellule de charge, à travers la fente et jusque dans la partie de fond du logement de l'enceinte. Une cassette présentant une ou plusieurs plaquettes est configurée pour reposer sur la tablette dans la cellule de charge et ainsi être soumise au flux d'air réorienté. Ce flux d'air réorienté s'écoule ainsi avec douceur sur les surfaces des plaquettes et contribue à éliminer les gaz et les particules de post-traitement sur les surfaces des plaquettes, alors que les plaquettes reposent temporairement dans le module de transport atmosphérique.
Designated States: CN, IL, JP, KR, SG.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)