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1. (WO2001006560) OPEN/CLOSE DEVICE FOR OPEN/CLOSE LID OF UNTREATED OBJECT STORING BOX AND TREATING SYSTEM FOR UNTREATED OBJECT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/006560    International Application No.:    PCT/JP2000/004701
Publication Date: 25.01.2001 International Filing Date: 13.07.2000
Chapter 2 Demand Filed:    13.02.2001    
IPC:
H01L 21/673 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 107-8481 (JP) (For All Designated States Except US).
SAKATA, Kazunari [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TANIFUJI, Tamotsu [JP/JP]; (JP) (For US Only).
OGAWA, Masahiro [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: SAKATA, Kazunari; (JP).
TANIFUJI, Tamotsu; (JP).
OGAWA, Masahiro; (JP)
Agent: ITOH, Tadahiko; Yebisu Garden Place Tower, 32nd Floor, 20-3, Ebisu 4-chome, Shibuya-ku, Tokyo 150-6032 (JP)
Priority Data:
11/201000 14.07.1999 JP
Title (EN) OPEN/CLOSE DEVICE FOR OPEN/CLOSE LID OF UNTREATED OBJECT STORING BOX AND TREATING SYSTEM FOR UNTREATED OBJECT
(FR) DISPOSITIF D'OUVERTURE/FERMETURE POUR UN COUVERCLE D'OUVERTURE/FERMETURE DE BOITE DE STOCKAGE D'OBJET NON TRAITE ET SYSTEME DE TRAITEMENT D'OBJET NON TRAITE
Abstract: front page image
(EN)An open/close device (52, 54) opens and closes an open/close lid (10) that closes the open portion of a box (2) for storing an untreated object (W) and is locked by a lock mechanism (12). A key member (26), rotatably and slidably mounted to a base mount (90), is rotated by a key member rotating mechanism (94) and moved perpendicularly to the base mount (90) by a key member rotating mechanism moving means (96). Part of the open/close lid (10) is held between the key member (26) and an elastic member (98) provided in front of the base mount. Whereby, a comparatively simple structure can prevent the positional deviation of the open/close lid (10) from the base mount (90) when the open/close lid (10) is removed from the box (2).
(FR)L'invention concerne un dispositif d'ouverture/fermeture (52, 54) ouvrant et fermant un couvercle ouverture/fermeture (10) qui ferme la partie ouverte d'une boîte (2) destinée à stocker un objet non traité (W) et verrouillé au moyen d'un mécanisme de verrouillage (12). Une clé (26), montée rotative et coulissante sur un bâti (90), est tournée par un mécanisme de rotation (94) de clé et déplacé perpendiculairement par rapport au bâti (90) par des moyens de déplacement à mécanisme de rotation de clé (96). Une partie du couvercle ouverture/fermeture (10) est maintenue entre la clé (26) et un élément élastique (98) placé à l'avant du bâti. Une structure comparativement simple peut donc empêcher la déviation de position du couvercle d'ouverture/fermeture (10) du bâti (90) lorsque le couvercle d'ouverture/fermeture (10) est retiré de la boîte (2).
Designated States: JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)