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1. (WO2001006536) SCANNING BEAM INSTRUMENTS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/006536    International Application No.:    PCT/GB2000/002676
Publication Date: 25.01.2001 International Filing Date: 12.07.2000
Chapter 2 Demand Filed:    12.02.2001    
IPC:
H01J 37/244 (2006.01)
Applicants: SHAH, Jitendra, Shantilal [GB/GB]; (GB) (For US Only).
LEO ELECTRON MICROSCOPY LIMITED [GB/GB]; Clifton Road, Cambridge, Cambridgeshire CB1 3QH (GB)
Inventors: SHAH, Jitendra, Shantilal; (GB)
Agent: CALDERBANK, T., Roger; Mewburn Ellis, York House, 23 Kingsway, London, Greater London WC2B 6HP (GB)
Priority Data:
9916804.9 16.07.1999 GB
Title (EN) SCANNING BEAM INSTRUMENTS
(FR) INSTRUMENTS A FAISCEAU D'EXPLORATION
Abstract: front page image
(EN)A scanning beam instrument, such as a scanning electron microscope has a beam column (2) which generates a beam of charged particles which are focussed on a specimen (6) in a specimen chamber (4). Charged particles from the specimen (6) and the vicinity of the specimen are detected by a suitable detector. In one aspect, an arrangement is disclosed in which a magnetic field is generated (70, 72) in the vicinity of the specimen and magnetic shielding is provided in the specimen chamber (4) for containing the field. The magnetic field may be substantially parallel to the surface of the specimen (6) and may also be substantially perpendicular to the axis of the beam (8). In another aspect an electric field is generated (54, 56) substantially parallel to the surface of the specimen (6), and preferably substantially perpendicular to the axis of the beam (8), this electric field is crossed with the magnetic field, and the detector has an electrode (54) substantially perpendicular to the surface of the specimen. In another aspect, the electric and magnetic fields are such as to direct charged particles from the specimen and the vicinity of the specimen to the perpendicular detector electrode (54).
(FR)Un instrument à faisceau d'exploration, tel qu'un microscope électronique à balayage, possède une colonne à faisceau (2) qui génère un faisceau de particules chargées qui sont concentrées sur un spécimen (6) placé dans une chambre à spécimen (4). Les particules chargées du spécimen (6) et la proximité du spécimen sont détectées par un détecteur approprié. Selon un aspect de l'invention, un dispositif est décrit dans lequel un champ magnétique est généré (70, 72) à proximité du spécimen et un blindage contre les perturbations magnétiques est prévu dans la chambre à spécimen (4) pour contenir le champ. Le champ magnétique peut être sensiblement parallèle à la surface du spécimen (6) et peut également être sensiblement perpendiculaire à l'axe du faisceau (8). Selon un autre aspect de l'invention, un champ électrique est généré (54, 56) sensiblement parallèlement à la surface du spécimen (6), et de préférence sensiblement perpendiculairement à l'axe du faisceau (8), ledit champ électrique croisant le champ magnétique, et le détecteur possède une électrode (54) sensiblement perpendiculaire à la surface du spécimen. Selon encore un autre aspect de l'invention, les champs électrique et magnétique sont tels qu'ils dirigent les particules chargées provenant du spécimen et de la proximité du spécimen, sur l'électrode de détecteur (54) perpendiculaire.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)