WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2001006129) FRICTION VACUUM PUMP FOR USE IN A SYSTEM FOR REGULATING PRESSURE AND PRESSURE REGULATING SYSTEM COMPRISING A FRICTION VACUUM PUMP OF THIS TYPE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/006129    International Application No.:    PCT/EP2000/006571
Publication Date: 25.01.2001 International Filing Date: 11.07.2000
Chapter 2 Demand Filed:    16.01.2001    
IPC:
F04D 19/04 (2006.01)
Applicants: LEYBOLD VAKUUM GMBH [DE/DE]; Bonner Strasse 498, D-50968 Köln (DE) (For All Designated States Except US).
PALTEN, Thomas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KALISCH, Dirk [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: PALTEN, Thomas; (DE).
KALISCH, Dirk; (DE)
Agent: LEINEWEBER, Jürgen; Aggerstrasse 24, D-50859 Köln (DE)
Priority Data:
199 33 332.7 16.07.1999 DE
Title (DE) REIBUNGSVAKUUMPUMPE FÜR DEN EINSATZ IN EINEM SYSTEM ZUR DRUCKREGELUNG SOWIE DRUCKREGELUNGSSYSTEM MIT EINER REIBUNGSVAKUUMPUMPE DIESER ART
(EN) FRICTION VACUUM PUMP FOR USE IN A SYSTEM FOR REGULATING PRESSURE AND PRESSURE REGULATING SYSTEM COMPRISING A FRICTION VACUUM PUMP OF THIS TYPE
(FR) POMPE A VIDE A FRICTION DESTINEE A ETRE UTILISEE DANS UN SYSTEME DE REGULATION DE PRESSION, ET SYSTEME DE REGULATION DE PRESSION EQUIPEE D'UNE TELLE POMPE
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Reibungsvakuumpumpe für den Einsatz in einem System zur Regelung des Druckes in einer Vakuumkammer mit einem mehrstufigen Turbomolekularvakuumpumpenabschnitt (6), dessen Stufen jeweils aus einer Stator- und einer Rotorschaufelreihe (14 bzw. 13) bestehen; um eine Pumpe dieser Art auch bei schweren Gasen oder bei einem schwere Gase enthaltenden Gasgemisch zu Druckregelzwecken einsetzen zu können, wird vorgeschlagen, dass die Reibungsvakuumpumpe (1) mit einem vorvakuumseitigen Molekularpumpenabschnitt (11) ausgerüstet ist und dass im Übergangsbereich vom Turbomolekularvakuumpumpenabschnitt (6) zum Molekularvakuumpumpenabschnitt (11) bzw. im Übergangsbereich von molekularer Strömung zu viskoser Strömung ein Raum (21, 22, 23) vorhanden ist, in dem die Pumpwirkung unterbrochen ist.
(EN)The invention relates to a friction vacuum pump for use in a system for regulating the pressure in a vacuum chamber comprising a multistage turbomolecular vacuum pump section (6) whose stages each consist of a row of stator vanes and rotor vanes (14 or 13). The aim of the invention is to be able to use a pump of this type for regulating pressure also in the instance of heavy gases or of a gas mixture containing heavy gases. To this end, the invention provides that the friction vacuum pump (1) is equipped with a molecular pump section (11) located on the fore-vacuum side and that a space (21, 22, 23), in which the pump action is interrupted, is provided in the transition area from the turbomolecular vacuum pump section (6) to the molecular pump section (11) or in the transition area from the molecular flow to viscose flow.
(FR)L'invention concerne une pompe à vide à friction destinée à être utilisée dans un système servant à réguler la pression dans une chambre à vide. Cette pompe présente une partie pompe à vide turbomoléculaire (6) à plusieurs étages, dont les étages sont constitués chacun d'une série d'aubes de stator et de rotor (14 et 13). L'invention vise à permettre l'utilisation d'une telle pompe à des fins de régulation de pression, même dans le cas de gaz lourds ou d'un mélange gazeux contenant des gaz lourds. A cet effet, cette pompe à vide à friction (1) est équipée d'une partie pompe moléculaire (11) côté vide préliminaire, et un espace (21, 22), dans lequel l'effet de pompage est interrompu, est prévu dans la zone de transition entre la partie pompe à vide turbomoléculaire (6) et la partie pompe à vide moléculaire (11) ou entre la zone de transition entre l'écoulement moléculaire et l'écoulement visqueux.
Designated States: JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)