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1. (WO2001004932) HANDLING SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/004932    International Application No.:    PCT/DE2000/002257
Publication Date: 18.01.2001 International Filing Date: 12.07.2000
Chapter 2 Demand Filed:    17.01.2001    
IPC:
H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: CENTROTHERM ELEKTRISCHE ANLAGEN GMBH + CO. [DE/DE]; Johannes-Schmid-Strasse 3, D-89143 Blaubeuren (DE) (For All Designated States Except US).
HARTUNG, Rolf [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: HARTUNG, Rolf; (DE)
Agent: LIPPERT, STACHOW, SCHMIDT & PARTNER; Krenkelstrasse 3, D-01309 Dresden (DE)
Priority Data:
199 32 063.2 12.07.1999 DE
Title (DE) HANDHABUNGSSYSTEM
(EN) HANDLING SYSTEM
(FR) SYSTEME DE MANIPULATION
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Handhabungssystem zur Übernahme einer von einem Handler aus einer Kassette bereitgestellten Ware aus einer Kassette und zur Übergabe derselben an eine Bearbeitungsstation. Durch die Erfindung soll ein Handhabungssystem geschaffen werden, mit dem eine sichere und schnelle Handhabung der Ware ermöglicht wird und das insbesondere eine lange Nutzungsdauer bei geringer mechanischer und thermischer Beanspruchung aufweist. Erfindungsgemäss ist in der Bearbeitungskammer (6) eine interne Handhabungsvorrichtung (9) vorgesehen, die wenigstens eine in mehreren Freiheitsgraden verfahrbare Gabel (10) aufweist, die mit Greifern (13) eines externen Handhabungssystemes (2) in Wirkungsverbindung steht, so dass die durch das externe Handhabungssystem (2) in die Bearbeitungskammer (6) transportierte Ware von der Gabel (10) übernommen und mit dieser auf einer Halteeinrichtung abgesetzt werden kann.
(EN)The invention relates to a handling system for removing a product from a cassette which has been placed in said cassette by a handling device and for transferring the same to a processing station. The invention aims to provide a handling system which enables secure and rapid handling of the product, which has, in particular, a long serviceable life and which is subjected to low mechanical and thermal stress. According to the invention, an internal handling device (9) with a fork (10) that can be displaced with varying degrees of freedom is provided in the processing chamber (6). Said fork interacts with gripping elements (13) of an external handling system (2) in such a way, that the product which is conveyed into the processing chamber (6) by the external handling system (2) can be received by the fork (10) and can be placed by the same onto a holding device.
(FR)L'invention concerne un système de manipulation servant à prélever d'une cassette un produit mis à disposition dans cette cassette par un manipulateur et à transférer le produit à une station de traitement. L'invention vise à créer un système de manipulation permettant une manipulation sûre et rapide du produit, et présentant en particulier une longue durée de vie, tout en étant soumis à de faibles contraintes mécaniques et thermiques. A cet effet, un dispositif de manipulation interne (9) est placé dans la chambre de traitement (6). Ce dispositif présente au moins une fourche (10) à plusieurs degrés de liberté, coopérant avec des éléments de préhension (13) d'un système de manipulation externe (2) de sorte que le produit transporté dans la chambre de traitement (6) par le système de manipulation externe (2) puisse être prélevé par la fourche (10) et déposé au moyen de cette dernière sur un dispositif de maintien.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)