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1. (WO2001004716) A SYSTEM AND METHOD FOR A DIGITAL MASS FLOW CONTROLLER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2001/004716 International Application No.: PCT/US2000/040251
Publication Date: 18.01.2001 International Filing Date: 20.06.2000
Chapter 2 Demand Filed: 02.02.2001
IPC:
G01F 1/684 (2006.01) ,G05D 7/06 (2006.01)
Applicants: MILLIPORE CORPORATION[US/US]; 80 Ashby Road Bedford, MA 01730-2271, US
Inventors: VYERS, Emmanuel; US
Agent: SPRINKLE, Steve, R.; Gray Cary Ware & Freidenrich LLP Suite 400 1221 S. MoPac Expressway Austin, TX 78746-6875, US
Priority Data:
09/351,12010.07.1999US
Title (EN) A SYSTEM AND METHOD FOR A DIGITAL MASS FLOW CONTROLLER
(FR) SYSTEME ET PROCEDE DE COMMANDE NUMERIQUE DE DEBIT MASSE
Abstract: front page image
(EN) A method for controlling the gas flow within a digital mass flow controller. The method calculates a digitally enhance flow rate signal that more accurately represents an actual flow rate through the digital mass flow controller. The digitally enhanced flow rate is calculated using a sensed flow rate signal output from a flow sensor, a scaled first derivative of the sensed flow rate signal, and a scaled, filtered second derivative of the sensed flow rate signal. A set-point signal is compared to the digitally enhanced flow rate signal to generate a digital error signal. The digital error signal is provided to a digitally realized PI (proportional integral) controller. The PI controller generates a digital control signal which is used to control a valve in the digital mass flow controller.
(FR) L'invention concerne un procédé de commande du débit de gaz dans un organe de commande numérique de débit masse. Le procédé consiste à calculer un signal de débit numériquement amélioré, qui indique de façon plus précise un débit réel dans l'organe de commande numérique de débit masse. On calcule le signal de débit numériquement amélioré au moyen d'une sortie de signal de débit détectée dans un capteur de débit, d'un premier dérivé échelonné du signal de débit détecté et d'un deuxième dérivé filtré et échelonné du signal de débit détecté. On compare un signal de valeur de consigne au signal de débit numériquement amélioré pour générer un signal d'erreur numérique. Le signal d'erreur numérique est envoyé à un organe de commande PI (proportionnel intégral) à réalisation numérique. L'organe de commande PI génère un signal de commande numérique qui est utilisé pour commander une soupape dans l'organe de commande numérique de débit masse.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)