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1. (WO2001004715) SYSTEM AND METHOD OF OPERATION OF A DIGITAL MASS FLOW CONTROLLER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/004715    International Application No.:    PCT/US2000/017062
Publication Date: 18.01.2001 International Filing Date: 21.06.2000
Chapter 2 Demand Filed:    08.02.2001    
IPC:
G05D 7/06 (2006.01)
Applicants: MILLIPORE CORPORATION [US/US]; 80 Ashby Road, Bedford, MA 01730-2271 (US)
Inventors: TINSLEY, Kenneth, E.; (US).
TARIQ, Faisal; (US)
Agent: SPRINKLE, Steven, R.; Gray Cary Ware & Freidenrich LLP, Suite 1440, 100 Congress Avenue, Austin, TX 78701-4072 (US)
Priority Data:
09/350,744 09.07.1999 US
Title (EN) SYSTEM AND METHOD OF OPERATION OF A DIGITAL MASS FLOW CONTROLLER
(FR) SYSTEME ET PROCEDE DE COMMANDE D'UN REGULATEUR NUMERIQUE DE DEBIT MASSIQUE
Abstract: front page image
(EN)The mass flow controller of the present invention includes a sensor (12). This sensor is used to detect a mass flow within a gas line. Additionally, this sensor provides an output (15) to an electronic control system (16) coupled to the sensor. The electronic control system will determine an expected mass flow based on the output of the sensor. The electronic control system will adjust a control valve (22) with a control signal to regulate a first gas flow through the control valve.
(FR)L'invention concerne un régulateur de débit massique comprenant un capteur (12). Ce capteur permet de mesurer le débit massique à l'intérieur d'une conduite de gaz. Il envoie en outre une sortie (15) à un système (16) de régulation électronique couplé au capteur. Le système de régulation électronique utilise cette sortie pour déterminer un débit massique prévu. Ensuite le système de régulation électronique règle une soupape (22) de régulation au moyen d'un signal de commande afin de réguler un premier débit de gaz à travers la soupape.
Designated States: AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)