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1. (WO2001004643) WAFER-LEVEL BURN-IN AND TEST CARTRIDGE AND METHODS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/004643    International Application No.:    PCT/US2000/019391
Publication Date: 18.01.2001 International Filing Date: 13.07.2000
Chapter 2 Demand Filed:    03.02.2001    
IPC:
G01R 31/28 (2006.01), H05K 3/00 (2006.01)
Applicants: AEHR TEST SYSTEMS [US/US]; 400 Kato Terrace, Fremont, CA 94539 (US) (For All Designated States Except US).
UHER, Frank, Otto [US/US]; (US) (For US Only).
ANDBERG, John, William [US/US]; (US) (For US Only).
CARBONE, Mark, Charles [US/US]; (US) (For US Only).
RICHMOND, Donald, Paul, II [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: UHER, Frank, Otto; (US).
ANDBERG, John, William; (US).
CARBONE, Mark, Charles; (US).
RICHMOND, Donald, Paul, II; (US)
Agent: ABRAHAM, David, J.; Wilson, Sonsini, Goodrich & Rosati, 650 Page Mill Road, Palo Alto, CA 94304-1050 (US)
Priority Data:
09/353,214 14.07.1999 US
09/353,116 14.07.1999 US
09/353,121 14.07.1999 US
Title (EN) WAFER-LEVEL BURN-IN AND TEST CARTRIDGE AND METHODS
(FR) CARTOUCHE D'ESSAI ET DE DEVERMINAGE AU NIVEAU D'UNE TRANCHE, ET PROCEDES ASSOCIES
Abstract: front page image
(EN)A cartridge (10) includes a chuck plate (12) for receiving a wafer (74) and a probe plate (14) for establishing electrical contact with the wafer. In use, a mechanical connecting device (90) locks the chuck plate and the probe plate fixed relative to one another to maintain alignment of the wafer and the probe plate. Preferably, electrical contact with the wafer is established using a probe card (50) that is movably mounted to the probe plate by means of a plurality of leaf springs (52). The mechanical connecting device is preferably a kinematic coupling including a male connector (94) and first and second opposed jaws (122, 124). Each of the jaws is pivotable from a retracted position in which the male connector can be inserted between the jaws and an engaging position in which the jaws prevent withdrawal of the male connector from between the jaws. The male connector is movable between an extended and a retracted position, and is biased towards the retracted position. This provides a positive clamping force that pulls the chuck and probe plates together when the mechanical connecting device is engaged. To leaf a wafer into the cartridge, the wafer is placed on the chuck plate, the probe plate is aligned with the wafer, and the chuck plate and the probe plate are locked together. The cartridge can then be removed from the alignment device and placed in a burn-in or test chamber that does not itself require means for aligning the wafer or for providing a probe actuation force.
(FR)L'invention concerne une cartouche (10) comprenant une plaque de support de tranche (12) destinée à recevoir une tranche (74), et une plaque à sondes (14) servant à établir un contact électrique avec la plaquette. En cours d'utilisation, un dispositif de connexion mécanique (90) bloque la plaque de support de tranche et la plaque à sondes, alors fixées l'une par rapport à l'autre, afin de maintenir l'alignement de la plaquette et de la plaque à sondes. Dans un mode de réalisation préféré, on établit un contact électrique avec la plaquette au moyen d'une carte à sondes (50) montée mobile sur la plaque à sondes à l'aide d'une pluralité de ressorts à lames (52). Le dispositif de connexion mécanique est de préférence un couplage cinématique comprenant un connecteur mâle (94) ainsi qu'une première et une seconde mâchoires opposées (122, 124). Chacune de ces mâchoires peut pivoter et passer d'une position rétractée, dans laquelle le connecteur mâle peut être inséré entre les mâchoires, et une position engagée, le connecteur mâle étant alors bloqué entre lesdites mâchoires. Ledit connecteur mâle peut se déplacer entre une position étendue et une position rétractée. Il est sollicité vers la position rétractée, d'où l'application d'une force de serrage positive tirant à la fois sur le support de tranche et les plaques à sondes lorsque le dispositif de connexion mécanique est engagé. Pour charger une plaquette dans la cartouche, on place la plaquette sur la plaque de support de tranche, la plaque à sondes étant alignée avec la plaquette, puis on bloque la plaque de support de tranche et la plaque à sondes ensemble. On peut alors retirer la cartouche du dispositif d'alignement et la placer dans une chambre d'essai ou de déverminage n'exigeant pas l'intervention d'un dispositif pour aligner la plaquette ou pour exercer une force d'actionnement de sonde.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)