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1. (WO2001004640) MICROMECHANICAL ROTATION ACCELERATION SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/004640    International Application No.:    PCT/DE2000/001290
Publication Date: 18.01.2001 International Filing Date: 22.04.2000
IPC:
G01P 15/08 (2006.01), G01P 15/09 (2006.01)
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20, D-70442 Stuttgart (DE) (For All Designated States Except US).
HOPF, Gerald [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: HOPF, Gerald; (DE)
Priority Data:
199 32 542.1 13.07.1999 DE
Title (DE) MIKROMECHANISCHER DREHBESCHLEUNIGUNGSSENSOR
(EN) MICROMECHANICAL ROTATION ACCELERATION SENSOR
(FR) CAPTEUR MICROMECANIQUE D'ACCELERATION DE ROTATION
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung schafft einen mikromechanischen Drehbeschleunigungssensor mit einem Substratelement (1), auf dem ein mikromechanisches Sensorelement (3) in Form von zwei in einem definierten Abstand angeordneten Linearsensorstrukturen (10, 20) vorgesehen ist, wobei die Linearsensoren (10, 20) um eine gemeinsame Achse (5) drehbar sind; einem entweder in das Substratelement (1) oder in ein zusätzliches Substrat integrierten Auswerte-IC (100), der mit den Linearsensorstrukturen (10, 20) verbunden ist; wobei in dem Auswerte-IC (100) die Sensorsignale zum Erhalten eines Drehbeschleunigungssignals ($g(U)) auswertbar sind. Die Linearsensoren können als piezoelektrische Elemente ausgebildet sein; sie sind für lineare Beschleunigungen empfindlich.
(EN)The invention relates to a micromechanical rotation acceleration sensor comprising a substrate element (1) on which a micromechanical sensor element (3) is provided in the form of two linear sensor structures (10,20) which are arranged at a defined distance from each other. The linear sensors (10,20) can rotate about a common axis (5). The inventive sensor also comprises an evaluating integrated circuit (100) which is integral with the substrate element (1) or an additional substrate. Said integrated circuit is connected to the linear sensor structures (10,20). The sensor signals can be evaluated in the evaluating integrated circuit in order to obtain a rotation acceleration signal ($g(U)). The linear sensors can be piezoelectric elements and are sensitive with respect to linear accelerations.
(FR)L'invention concerne un capteur micromécanique d'accélération de rotation qui comprend un élément substrat (1), sur lequel est placé un élément capteur micromécanique (3) se présentant sous la forme de deux structures de détection linéaires (10, 20) séparées par une distance définie, ces capteurs linéaires (10, 20) pouvant tourner autour d'un axe (5) commun. Le capteur selon l'invention comprend également un circuit intégré d'évaluation (100) qui est intégré soit à l'élément substrat (1), soit à un substrat supplémentaire, et qui est relié aux structures de détection linéaires (10, 20), les signaux de détection pouvant être évalués dans ce circuit d'évaluation (100) pour donner un signal d'accélération de rotation ($g(U)). Les capteurs linéaires peuvent se présenter sous la forme d'éléments piézo-électriques et sont sensibles à des accélérations linéaires.
Designated States: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)