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1. (WO2001004572) LASER REFLECTOR ALIGNMENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/004572    International Application No.:    PCT/US2000/017737
Publication Date: 18.01.2001 International Filing Date: 27.06.2000
Chapter 2 Demand Filed:    07.02.2001    
IPC:
G01B 11/26 (2006.01)
Applicants: ETEC SYSTEMS, INC. [US/US]; 26460 Corporate Avenue, Hayward, CA 94545 (US)
Inventors: INNES, Robert; (US).
ECKES, William, A.; (US)
Agent: BERNADICOU, Michael, A.; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP, 7th Floor, 12400 Wilshire Boulevard, Los Angeles, CA 90025 (US)
Priority Data:
09/350,509 09.07.1999 US
Title (EN) LASER REFLECTOR ALIGNMENT
(FR) ALIGNEMENT DE REFLECTEUR LASER
Abstract: front page image
(EN)A laser beam or other parallel light beam divides at a beamsplitter into sample and reference beams. The sample beam reflects from a reflective surface back to the beamsplitter, and the reference beam reflects from a retroreflector back to the beamsplitter. The beams are then directed into a telescope. The angle between sample and reference beams at the telescope is proportional to the angle between the laser beam and the normal to the reflective surface. The telescope collects both sample beam and reference beam and transforms each beam into a sharply defined point image. The lateral separation between the two point images is proportional to the magnification of the telescope and to the angle formed at the telescope between the sample beam and the reference beam. If the reflective surface is accurately aligned relative to the laser beam, then the two point images are substantially superposed on one another. Alignment is performed by adjusting the orientation of the reflective surface, until the lateral separation between the two point images reaches zero or a predetermined value.
(FR)Selon l'invention, un faisceau laser ou un autre faisceau lumineux parallèle est divisé en un faisceau d'échantillon et un faisceau de référence sur un diviseur de faisceau. Le faisceau d'échantillon est réorienté vers le diviseur de faisceau par réflexion sur une surface de réflexion, et le faisceau de référence est réorienté vers le diviseur de faisceau par réflexion sur un rétro-réflecteur. Les faisceaux sont ensuite dirigés vers un télescope. L'angle formé entre les faisceaux d'échantillon et de référence sur le télescope est proportionnel à l'angle entre le faisceau laser et la normale de la surface de réflexion. Le télescope collecte les deux faisceaux d'échantillon et de référence et transforme chaque faisceau en une image ponctuelle de haute définition. La séparation latérale entre les deux images ponctuelles est proportionnelle au grossissement du télescope et à l'angle formé entre les faisceaux d'échantillon et de référence sur le télescope. Si la surface de réflexion est précisément alignée avec le faisceau laser, les deux images ponctuelles sont quasiment superposées. L'alignement est effectué par ajustement de l'orientation de la surface de réflexion, jusqu'à ce que la séparation latérale entre les deux images ponctuelles soit nulle ou atteigne une valeur prédéfinie.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)