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1. (WO2001004390) SEED CRYSTAL HOLDER WITH A LATERAL BORDER FOR AN SIC SEED CRYSTAL
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Pub. No.: WO/2001/004390 International Application No.: PCT/DE2000/002171
Publication Date: 18.01.2001 International Filing Date: 04.07.2000
Chapter 2 Demand Filed: 20.12.2000
IPC:
C30B 23/00 (2006.01)
C CHEMISTRY; METALLURGY
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CRYSTAL GROWTH
B
SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
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Single-crystal growth by condensing evaporated or sublimed materials
Applicants:
STEIN, Rene [FR/DE]; DE (UsOnly)
KUHN, Harald [DE/DE]; DE (UsOnly)
VÖLKL, Johannes [DE/DE]; DE (UsOnly)
ZINTL, Wolfgang [DE/DE]; DE (UsOnly)
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE/DE]; Wittelsbacherplatz 2 D-80333 München, DE (AllExceptUS)
Inventors:
STEIN, Rene; DE
KUHN, Harald; DE
VÖLKL, Johannes; DE
ZINTL, Wolfgang; DE
Common
Representative:
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT; Postfach 22 16 34 D-80506 München, DE
Priority Data:
199 31 336.907.07.1999DE
Title (EN) SEED CRYSTAL HOLDER WITH A LATERAL BORDER FOR AN SIC SEED CRYSTAL
(FR) PORTE-CRISTAL GERME AVEC BORDURE LATERALE POUR UN CRISTAL GERME DE SIC
(DE) KEIMKRISTALLHALTER MIT SEITLICHER EINFASSUNG EINES SIC-KEIMKRISTALLS
Abstract:
(EN) The seed crystal holder (20) maintains an SiC seed crystal (10) during growth, whereby an SiC volume monocrystal (15) grows on the front side thereof. The inventive seed crystal holder comprises a rear side body (28) with a bearing surface (29) for the rear side of an SiC seed crystal (10) and a lateral border (30) for receiving a rear side body (28) and the SiC seed crystal (10). The lateral border (30) has a projection (31) on an end facing the SiC seed crystal (10). The SiC seed crystal (10) bears upon said projection.
(FR) L'invention concerne un porte-cristal germe (20) qui maintient, pendant une croissance, un cristal germe de SiC (10) et sur la face avant (11) duquel croît un monocristal volumique de SiC (15). Ce porte-cristal germe comprend un corps arrière (28) pourvu d'une surface d'appui (29) pour la face arrière (12) du cristal germe de SiC (10) et une bordure latérale (30) destinée à recevoir le corps arrière (28) et le cristal germe de SiC (10). La bordure latérale (30) présente, à une extrémité faisant face au cristal germe de SiC (10), une saillie (31) sur laquelle repose le cristal germe de SiC (10).
(DE) Der Keimkristallhalter (20) haltert während einer Züchtung einen SiC-Keimkristall (10), auf dessen Vorderseite (11) ein SiC-Volumeneinkristall (15) aufwächst. Er umfaßt einen Rückseitenkörper (28) mit einer Auflagefläche (29) für eine Rückseite (12) des SiC-Keimkristalls (10) und eine seitliche Einfassung (30) zur Aufnahme des Rückseitenkörpers (28) und des SiC-Keimkristalls (10). Die seitliche Einfassung (30) enthält an einem dem SiC-Keimkristall (10) zugewandten Ende einen Vorsprung (31), auf dem der SiC-Keimkristall (10) aufliegt.
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Designated States: JP, US
European Patent Office (EPO) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)