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1. (WO2001004186) ORGANICALLY MODIFIED SILIC ACID POLYCONDENSATES, PRODUCTION AND USE THEREOF
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/004186    International Application No.:    PCT/DE2000/001833
Publication Date: 18.01.2001 International Filing Date: 31.05.2000
Chapter 2 Demand Filed:    28.10.2000    
IPC:
C09D 4/00 (2006.01)
Applicants: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Leonrodstrasse 54, D-80636 München (DE) (For All Designated States Except US).
ROSCHER, Christof [DE/DE]; (DE) (For US Only).
BUESTRICH, Ralf [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: ROSCHER, Christof; (DE).
BUESTRICH, Ralf; (DE)
Priority Data:
199 32 629.0 13.07.1999 DE
Title (DE) ORGANISCH MODIFIZIERTE KIESELSÄUREPOLYKONDENSATE, DEREN HERSTELLUNG UND DEREN VERWENDUNG
(EN) ORGANICALLY MODIFIED SILIC ACID POLYCONDENSATES, PRODUCTION AND USE THEREOF
(FR) POLYCONDENSATS D'ACIDE SILICIQUE MODIFIES ORGANIQUEMENT, LEUR PRODUCTION ET LEUR UTILISATION
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft organisch modifizierte, lagerstabile, UV-härtbare, NIR-durchlässige und in Schichtdicken von 1 bis 150 $g(m)m fotostrukturierbare Kieselsäurepolykondensate, deren Herstellung und deren Verwendung als Negativresists. Die erfindungsgemäßen Polykondensate sind erhältlich durch Kondensation von organisch modifizierten Silandiolen der Formel (I) mit organisch modifizierten Silanen der Formel (II): Ar2Si(OH)2 (I), RSi(OR')3 (II). Die Reste sind gleich oder verschieden und haben folgende Bedeutung: Ar = ein Rest mit 6 bis 20 Kohlenstoff-Atomen und mit mindestens einer aromatischen Gruppe, R = ein organischer Rest mit 2 bis 15 Kohlenstoff-Atomen und mit mindestens einer Epoxy-Gruppe und/oder mit mindestens einer C=C-Doppelbindung, R' = Methyl oder Ethyl. Die Kondensation wird ohne Wasserzugabe durchgeführt. Das molare Verhältnis der Verbindungen (I) und (II) beträgt 1:1. Bis zu 90 Mol-% der Verbindung der Formel (II) können durch co-kondensierbare Verbindungen des Bors, des Aluminiums, des Siliciums, des Germaniums, des Titans und des Zirkoniums ersetzt sein.
(EN)The invention relates to organically modified, stable in storage, UV hardenable, NIR permeable, silic acid polycondensates which can be photo-structured in layers having a thickness of 1-150 $g(m)m. The invention also relates to the production and use thereof as negative resists. The inventive polycondensates can be obtained by condensing organically modified sillanediols of formula (I) with organically modified silanes of formula (II), whereby Ar2Si(OH)2 is formula (I) and RSi(OR')3 is formula (II). The radicals are identical or different and have the following meaning: Ar = a radical with 6-20 carbon atoms and at least one aromatic group, R = an organic radical with 2-15 carbon atoms and at least one epoxy group and/or at least one C=C double-bond, R' = methyl or ethyl. Condensation occurs without the addition of water. The molar ratio of (I) and (II) is 1:1. Up to 90 mol % of the compound of formula (II) can be replaced by condensable compounds of the following: boron, aluminium, silicon, germanium, titanium and zircon.
(FR)L'invention concerne des polycondensats d'acide silicique, structurables sous l'effet de la lumière, présentant une épaisseur de couche comprise entre 1 et 150 $g(m)m, perméables aux infrarouges proches, durcissants aux UV, stables au stockage et modifiés organiquement. L'invention concerne également leur production et leur utilisation comme résist négatif. Ces polycondensats s'obtiennent par condensation de silanediols modifiés organiquement, de formule (I), avec des silanes modifiés organiquement, de formule (II): Ar2Si(OH)2 (I) RSi(OR')3 (II). Les radicaux sont identiques ou différents et possèdent la signification suivante: Ar représente un radical comportant 6 à 20 atomes de carbone et au moins un groupe aromatique; R représente un radical organique comportant 2 à 15 atomes de carbone et au moins un groupe époxy et/ou au moins une double liaison C=C; R' représente méthyle ou éthyle. La condensation s'effectue sans addition d'eau. Le rapport molaire des composés (I) et (II) s'élève à 1:1. Jusqu'à 90 % en moles du composé de la formule (II) peuvent être remplacés par des composés co-condensables de bore, aluminium, silicium, germanium, titane et zirconium.
Designated States: CA, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)