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1. (WO2001004027) LOW PROFILE AUTOMATED POD DOOR REMOVAL SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/004027    International Application No.:    PCT/US2000/015326
Publication Date: 18.01.2001 International Filing Date: 31.05.2000
Chapter 2 Demand Filed:    11.01.2001    
IPC:
H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: H-SQUARE CORPORATION [US/US]; 1033 North Fair Oaks Avenue, Sunnyvale, CA 94089 (US)
Inventors: PATTERSON, Jesse; (US).
DILL, Charles, Thomas; (US)
Agent: McHUGH, Terry; Law Offices of Terry McHugh, 101 First Street, PMB 560, Los Altos, CA 94022 (US)
Priority Data:
09/350,085 08.07.1999 US
Title (EN) LOW PROFILE AUTOMATED POD DOOR REMOVAL SYSTEM
(FR) SYSTEME DE RETRAIT AUTOMATISE DE PORTE A NACELLE EXTRA PLAT
Abstract: front page image
(EN)An automated door removal and replacement system (98) utilizes a combination of linear and rotational drive to remove a door (116) of a wafer supporting device (12) and store the door below the device. In one embodiment, the wafer-supporting device is a Front Opening Unified Pod (FOUP). A door-contacting assembly (114) is pivotally mounted to include a horizontal rest position and a vertical unlocking position. In the horizontal rest position, the assembly resides below the wafer-supporting device. The assembly is rotated to a vertical position and then linearly moved to engage the door. Keys (88, 90, 94 and 96) of the assembly are manipulated to release the door. The assembly and the door are moved rearwardly and the assembly is pivoted to the rest position, clearing the opening to the wafer-supporting device.
(FR)Cette invention se rapporte à un système de retrait et de remplacement de porte automatisé (98), qui utilise une combinaison d'entraînements linéaire et rotatif pour retirer une porte (116) d'un dispositif de support de plaquette (12) et pour ranger cette porte sous ledit dispositif. Dans un mode de réalisation, le dispositif de support de plaquette est constitué par une nacelle unifiée à ouverture frontale (FOUP). Un ensemble (114) venant en prise avec la porte est monté pivotant de façon à pouvoir passer d'une position de repos horizontale à une position de déblocage verticale. Dans la position de repos horizontale, ledit ensemble reste sous le dispositif de support de plaquette. Ledit ensemble est amené à tourner jusqu'à occuper une position verticale et il est ensuite déplacé linéairement pour venir en prise avec la porte. Des clés (88, 90, 94 et 96) de l'ensemble sont manipulées pour libérer la porte. L'ensemble et la porte sont déplacés vers l'arrière et l'ensemble est amené à pivoter jusqu'à sa position de repos, libérant ainsi l'ouverture du dispositif de support de plaquette.
Designated States: JP, KR.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)