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1. (WO2001003177) DEVICE FOR QUANTITATIVE DETECTION OF COPPER IN SILICON BY TRANSIENT IONIC DRIFT AND METHOD USING SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/003177    International Application No.:    PCT/FR2000/001837
Publication Date: 11.01.2001 International Filing Date: 29.06.2000
IPC:
H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE [FR/FR]; 3, rue Michel Ange F-75016 Paris (FR) (For All Designated States Except US).
HEISER, Thomas [FR/FR]; (FR) (For US Only)
Inventors: HEISER, Thomas; (FR)
Agent: CABINET NUSS; 10, rue Jacques Kablé F-67080 Strasbourg Cedex (FR)
Priority Data:
99/08522 30.06.1999 FR
Title (EN) DEVICE FOR QUANTITATIVE DETECTION OF COPPER IN SILICON BY TRANSIENT IONIC DRIFT AND METHOD USING SAME
(FR) DISPOSITIF DE DETERMINATION QUANTITATIVE DU CUIVRE DANS LE SILICIUM PAR DRAINAGE IONIQUE TRANSITOIRE (DIT) ET PROCEDE UTILISANT CETTE TECHNIQUE
Abstract: front page image
(EN)The invention concerns an analysing device for producing measurements using transient ionic drift technique and an analysis method using same. The device for the quantitative detection of copper in silicon by transient ionic drift essentially comprises means for heating and means for rapidly cooling the sample to be analysed, an electrode for measuring the electrical capacity of the sample and a unit generating an energising signal and processing the measuring electric signal. The invention is characterised in that the means for heating (2) the sample (4) to be analysed consists in at least a halogen lamp, the means for rapidly cooling (3) the sample (4) to be analysed is by water cooling, and the electrode for measuring the sample (4) to be analysed is a mercury electrode.
(FR)La présente invention a pour objet un dispositif d'analyse permettant la réalisation de mesures utilisant la technique DIT ainsi que le procédé d'analyse mis en oeuvre. Dispositif de détermination quantitative du cuivre dans le silicium par drainage ionique transitoire (DIT) comprenant essentiellement un moyen de chauffage et un moyen de refroidissement rapide de l'échantillon à analyser, une électrode de mesure de la capacité électrique de l'échantillon ainsi qu'une unité de génération d'un signal d'excitation et de traitement du signal électrique de mesure, caractérisé en ce que: le moyen de chauffage (2) de l'échantillon (4) à analyser consiste en au moins une lampe halogène, le moyen de refroidissement rapide (3) de l'échantillon (4) à analyser est un refroidissement par eau, et l'électrode de mesure de l'échantillon (4) à analyser est une électrode en mercure.
Designated States: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: French (FR)
Filing Language: French (FR)