CH2000000349 METAL OXIDE CHEMICAL GAS SENSOR AND METHOD FOR MAKING SAME

1. (WO2001002844) METAL OXIDE CHEMICAL GAS SENSOR AND METHOD FOR MAKING SAME

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Pub. No.:	WO/2001/002844	International Application No.:	PCT/CH2000/000349
Publication Date:	11.01.2001	International Filing Date:	28.06.2000
Chapter 2 Demand Filed:	22.01.2001

IPC:

G01N 27/12 (2006.01)

Applicants:

MICROCHEMICAL SYSTEMS S.A. [CH/CH]; Rue de Porcena, 15, CH-2035 Corcelles (CH) (For All Designated States Except US).
CENTRE NATIONAL DE RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) [FR/FR]; 3, rue Michel-Ange, F-75794 Paris Cedex 16 (FR) (For All Designated States Except US).
CHAUDRET, Bruno [FR/FR]; (FR) (For US Only).
ERADES, Laurent [FR/FR]; (FR) (For US Only).
FAU, Pierre [FR/FR]; (FR) (For US Only).
MAISONNAT, André [FR/FR]; (FR) (For US Only).
NAYRAL, Céline [FR/FR]; (FR) (For US Only).
SIMON, Jean-Luc [CH/CH]; (CH) (For US Only)

Inventors:

CHAUDRET, Bruno; (FR).
ERADES, Laurent; (FR).
FAU, Pierre; (FR).
MAISONNAT, André; (FR).
NAYRAL, Céline; (FR).
SIMON, Jean-Luc; (CH)

Agent:

GRESSET - LAESSER - NITHARDT; Cabinet de Conseil en Propriété Industrielle, Puits-Godet 8A, CH-2000 Neuchâtel (CH)

Priority Data:

99/08749		02.07.1999		FR
482/00		14.03.2000		CH

Title

(EN) METAL OXIDE CHEMICAL GAS SENSOR AND METHOD FOR MAKING SAME
(FR) CAPTEUR CHIMIQUE DE GAZ A OXIDE METALLIQUE ET SON PROCEDE DE FABRICATION

Abstract:

(EN)The invention concerns a metal oxide chemical gas sensor comprising: a substrate, a heating element (24) arranged on the substrate, an electrically insulating layer (26) arranged on the heating element, a sensitive metal oxide layer (20) arranged on the insulating layer, and two strip conductors (22) to enable an electric signal to be applied to the sensitive layer. The strip conductors (22) rest on the insulating layer (26) and the sensitive layer (20) is in the form of an agglomerated powder with a porous structure consisting of particles having a diameter of the order of 20 nanometers and cover at least partly the ends of the strip conductors.
(FR)L'invention concerne un capteur chimique de gaz à oxide métallique comportant: un substrat (30), un corps de chauffe (24) disposé sur le substrat, une couche électriquement isolante (26) disposée sur le corps de chauffe, une couche sensible (20) d'oxide métallique disposée sur la couche isolante, et deux pistes conductrices (22) pour permettre l'application d'un signal électrique à la couche sensible. Les pistes conductrices (22) reposent sur la couche isolante (26) et la couche sensible (20) est sous la forme d'une poudre agglomérée à structure poreuse constituée de particules ayant un diamètre de l'ordre de 20 nanomètres et recouvrre au moins partiellement les extrémités des pistes.

Designated States:

CA, JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).

Publication Language:	French (FR)
Filing Language:	French (FR)

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