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1. (WO2001002802) SYSTEM FOR SIMULTANEOUSLY MEASURING THIN FILM LAYER THICKNESS, REFLECTIVITY, ROUGHNESS, SURFACE PROFILE AND MAGNETIC PATTERN
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2001/002802 International Application No.: PCT/US2000/018042
Publication Date: 11.01.2001 International Filing Date: 29.06.2000
Chapter 2 Demand Filed: 22.12.2000
IPC:
G01B 11/06 (2006.01) ,G01B 11/30 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11
Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02
for measuring length, width, or thickness
06
for measuring thickness
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11
Measuring arrangements characterised by the use of optical means
30
for measuring roughness or irregularity of surfaces
Applicants: CANDELA INSTRUMENTS[US/US]; Suite 104D 48890 Milmont Drive Fremont, CA 94538, US
Inventors: MEEKS, Steven, W.; US
KUDINAR, Rusmin; US
Agent: MCNELIS, John, T. ; Fenwick & West LLP Two Palo Alto Square Palo Alto, CA 94306, US
Priority Data:
09/347,62202.07.1999US
Title (EN) SYSTEM FOR SIMULTANEOUSLY MEASURING THIN FILM LAYER THICKNESS, REFLECTIVITY, ROUGHNESS, SURFACE PROFILE AND MAGNETIC PATTERN
(FR) SYSTEME PERMETTANT DE MESURER SIMULTANEMENT L'EPAISSEUR DE COUCHE, LE POUVOIR REFLECTEUR, LA RUGOSITE, LE PROFIL SUPERFICIEL ET LE SPECTRE MAGNETIQUE DE FILMS MINCES
Abstract:
(EN) A system and method for performing a magnetic imaging, optical profiling, and measuring lubricant thickness and degradation, carbon wear, carbon thickness, and surface roughness of thin film magnetic disks (100) at angles that are not substantially Brewster's angle of the thin film (100) protective overcoat. A focused optical light (224A) whose polarization can be switched between P or S polarization (222) is incident at an angle to the surface of the thin film magnetic disk (100). This present invention allows the easy measurement of the change in lubricant thickness due to the interaction of the thin film head, the absolute lubricant thickness and degradation of the lubricant. It also allows the measurement of changes in carbon thickness and the absolute carbon thickness. The surface roughness can also be measured at any of the angles specified above. The rotation of the reflected polarized light can be measured to identify the Kerr-effect, and accordingly, the magnetic property of the point at which the light reflects from the disk. In addition, the present invention can mark the position of an identified defect by automatically positioning a scribe in close proximity to the target position, e.g., the position of the defect, and marking the disk with the scribe.
(FR) La présente invention concerne un système et un procédé permettant d'établir une représentation magnétique et un profil optique, et de mesurer l'épaisseur et la dégradation de lubrifiant, l'usure du carbone, l'épaisseur de carbone et la rugosité superficielle de disques magnétiques à film mince (100), à des angles qui sont sensiblement différents de l'angle de Brewster du revêtement protecteur du film mince (100). Une lumière optique focalisée (224A), dont la polarisation peut être commutée entre une polarisation P ou S (222), est incidente à un angle de la surface du disque magnétique à film mince (100). Cette invention permet de mesurer facilement le changement d'épaisseur de lubrifiant dû à l'interaction de la tête de film mince, l'épaisseur absolue de lubrifiant, la dégradation du lubrifiant, les changements d'épaisseur de carbone, l'épaisseur absolue de carbone, ainsi que la rugosité superficielle à tous les angles spécifiés précédemment. La rotation de la lumière polarisée réfléchie peut être mesurée afin d'identifier l'effet de Kerr et, en fonction, la propriété magnétique du point auquel la lumière subit une réflexion à partir du disque. De plus, la présente invention permet de marquer la position d'une anomalie identifiée, par positionnement automatique d'un marqueur à proximité de la position cible, la position de l'anomalie par exemple, puis par marquage du disque avec le marqueur.
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Designated States: AE, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)