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1. (WO2001001849) CLOSED LOOP OPTICAL COHERENCE TOPOGRAPHY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/001849    International Application No.:    PCT/AU2000/000802
Publication Date: 11.01.2001 International Filing Date: 30.06.2000
Chapter 2 Demand Filed:    01.02.2001    
IPC:
A61B 3/107 (2006.01), G01B 9/02 (2006.01), G01B 11/24 (2006.01)
Applicants: THE UNIVERSITY OF WESTERN AUSTRALIA [AU/AU]; Legal Services Unit, Perth, W.A. 6907 (AU) (For All Designated States Except US).
ZVYAGIN, Andrei, V. [RU/AU]; (AU) (For US Only).
SAMPSON, David, D. [AU/AU]; (AU) (For US Only)
Inventors: ZVYAGIN, Andrei, V.; (AU).
SAMPSON, David, D.; (AU)
Agent: GRIFFITH HACK; Level 3, 509 St Kilda Road, Melbourne, VIC 3004 (AU).
MORTON, Andrew, J.; Griffith Hack, Level 3, 509 St Kilda Road, Melbourne, VIC 3004 (AU)
Priority Data:
PQ 1398 02.07.1999 AU
Title (EN) CLOSED LOOP OPTICAL COHERENCE TOPOGRAPHY
(FR) TOPOGRAPHIE PAR COHERENCE OPTIQUE ET A BOUCLE ASSERVIE
Abstract: front page image
(EN)The present invention provides an optical coherence topography apparatus and method for determining the topology of a surface of or within a sample, the apparatus having: a light source for providing a beam of light; a beam splitter for splitting the beam into first and second components; a sample arm for receiving the sample and characterized by a first path length; scanning means for scanning the sample with the first component of the beam; a reference arm with a reference means for receiving the second component, the reference arm characterized by a second path length; and a light detector for detecting interference patterns due to interference of a reference beam from the reference means and a sample beam from the sample; wherein one of the first and the second path lengths is controllably adjustable and the apparatus includes control means responsive to changes in the interference patterns due to differences in the first path length as the sample is scanned, by adjusting the one of the first and the second path lengths to compensate for the changes in the first path length, whereby the adjustment in the one of first and second path lengths is indicative of the changes in the first path length and thereby of the topology.
(FR)Cette invention concerne un appareil de topographie par cohérence optique et à boucle asservie, ainsi qu'un procédé permettant de déterminer la topologie de la surface d'un objet ou d'une surface à l'intérieur d'un objet. Cet appareil comprend les éléments suivants: une source de lumière fournissant un faisceau lumineux; un diviseur de faisceau divisant le faisceau en une première composante et une seconde composante; un bras à échantillon qui reçoit l'échantillon et qui se caractérise par une première longueur de parcours; un système de balayage afin de balayer l'objet à l'aide de la première composante du faisceau; un bras de référence comportant un système de référence afin de recevoir la seconde composante, lequel bras de référence se caractérise par une seconde longueur de parcours; et un détecteur de lumière permettant de détecter les diagrammes d'interférences dus aux interférences sur le faisceau de référence par le système de référence et sur le faisceau d'échantillon par l'échantillon. L'une ou l'autre de la première et de la seconde longueur de parcours peut être ajustée de manière commandée. L'appareil comprend également un système de commande qui va réagir aux changements des diagrammes d'interférences dus aux modifications de la première longueur de parcours lorsque l'échantillon est balayé, ceci en ajustant la première ou la seconde longueur de parcours afin de compenser les modifications de la première longueur de parcours. L'ajustement de la première ou de la seconde longueurs de parcours reflète la modification de la première longueur de parcours, et donc la topologie.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)