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1. (WO2001001530) NARROW BAND EXCIMER LASER WITH A PRISM-GRATING AS LINE-NARROWING OPTICAL ELEMENT
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Pub. No.: WO/2001/001530 International Application No.: PCT/EP2000/005817
Publication Date: 04.01.2001 International Filing Date: 23.06.2000
IPC:
G02B 5/18 (2006.01) ,H01S 3/08 (2006.01) ,H01S 3/081 (2006.01) ,H01S 3/1055 (2006.01) ,H01S 3/225 (2006.01)
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
5
Optical elements other than lenses
18
Diffracting gratings
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
S
DEVICES USING STIMULATED EMISSION
3
Lasers, i.e. devices for generation, amplification, modulation, demodulation, or frequency-changing, using stimulated emission, of infra-red, visible, or ultra-violet waves
05
Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
08
Construction or shape of optical resonators or components thereof
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
S
DEVICES USING STIMULATED EMISSION
3
Lasers, i.e. devices for generation, amplification, modulation, demodulation, or frequency-changing, using stimulated emission, of infra-red, visible, or ultra-violet waves
05
Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
08
Construction or shape of optical resonators or components thereof
081
comprising more than two reflectors
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
S
DEVICES USING STIMULATED EMISSION
3
Lasers, i.e. devices for generation, amplification, modulation, demodulation, or frequency-changing, using stimulated emission, of infra-red, visible, or ultra-violet waves
10
Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
105
by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity
1055
one of the reflectors being constituted by a diffraction grating
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
S
DEVICES USING STIMULATED EMISSION
3
Lasers, i.e. devices for generation, amplification, modulation, demodulation, or frequency-changing, using stimulated emission, of infra-red, visible, or ultra-violet waves
14
characterised by the material used as the active medium
22
Gases
223
the active gas being polyatomic, i.e. containing more than one atom
225
comprising an excimer or exciplex
Applicants:
LAMBDA PHYSIK AG [DE/DE]; Hans-Böckler-Strasse 12 D-37079 Göttingen, DE
Inventors:
KLEINSCHMIDT, Jürgen; DE
SCHROEDER, Thomas; DE
Agent:
VON HELLFELD, Axel; Wuesthoff & Wuesthoff Schweigerstrasse 2 D-81541 München, DE
Priority Data:
09/602,18422.06.2000US
60/140,53223.06.1999US
60/167,83529.11.1999US
60/170,91915.12.1999US
60/173,99330.12.1999US
Title (EN) NARROW BAND EXCIMER LASER WITH A PRISM-GRATING AS LINE-NARROWING OPTICAL ELEMENT
(FR) LASER EXCIMERE A BANDE ETROITE A PRISME A SURFACE RETICULEE, EN TANT QU'ELEMENT OPTIQUE REDUCTEUR DE LA LARGEUR DES RAIES
Abstract:
(EN) A grating or grism, a prism having a grating surface element for use with a line-narrowing package of an excimer or molecular fluorine laser includes a highly reflective (HR) and/or an anti-reflective (AR) dielectric coating. The grating may also serve as a resonator reflector, thus having a dielectric HR coating. The grating may be disposed in front of an HR mirror and thus have a dielectric AR coating. The grating may be used as an output coupler and thus be partially reflective with or without a coating. The grism has a dielectric AR coating on any transmissive surface and a dielectric HR coating on any reflective surface. The grism may be configured to be disposed in the laser resonator with the grating surface facing the discharge chamber and serving as a HR reflecting resonator reflector. The prism portion may face the discharge chamber and the grating portion serving as a HR reflecting resonator reflector.
(FR) La présente invention concerne un réseau ou grisme, un prisme à surface réticulée, destiné à un ensemble réducteur de la largeur des raies d'un laser excimère ou d'un laser moléculaire au fluor. Ce réseau comprend un revêtement diélectrique hautement réfléchissant (HR) et/ou antiréflexion (AR). Ce réseau peut aussi servir de réflecteur résonateur, ayant par conséquent un revêtement diélectrique HR. Ce réseau peut être placé en face d'un miroir HR et avoir par conséquent un revêtement diélectrique AR. Ce réseau peut être utilisé comme un coupleur de sortie et être par conséquent partiellement réfléchissant avec ou sans revêtement. Le grisme possède un revêtement diélectrique AR sur toute surface transparente et un revêtement diélectrique HR sur toute surface de réflexion. Ce grisme peut être agencé de façon à pouvoir être placé dans le résonateur du laser, la surface réticulée faisant face à la chambre à décharge et servant de réflecteur résonateur HR. La partie prisme peut faire face à la chambre à décharge et la partie réseau sert de résonateur réflecteur HR.
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Designated States: DE, JP, KR
European Patent Office (EPO) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)