WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2001001454) ATMOSPHERIC WAFER TRANSFER MODULE WITH NEST FOR WAFER TRANSPORT ROBOT AND METHOD OF IMPLEMENTING SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/001454    International Application No.:    PCT/US2000/040191
Publication Date: 04.01.2001 International Filing Date: 08.06.2000
Chapter 2 Demand Filed:    22.01.2001    
IPC:
H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway, Fremont, CA 94538-6516 (US)
Inventors: KROEKER, Tony, R.; (US).
COOK, Larry; (US)
Agent: PENILLA, Albert, S.; Martine Penilla & Kim, LLP, Suite 170, 710 Lakeway Drive, Sunnyvale, CA 94086 (US)
Priority Data:
09/342,669 29.06.1999 US
Title (EN) ATMOSPHERIC WAFER TRANSFER MODULE WITH NEST FOR WAFER TRANSPORT ROBOT AND METHOD OF IMPLEMENTING SAME
(FR) MODULE DE TRANSFERT DE PLAQUETTES ATMOSPHERIQUE MUNI D'UN NID POUR LE ROBOT DE TRANSPORT DE PLAQUETTE ET PROCEDE DE MISE EN OEUVRE DE CE DERNIER
Abstract: front page image
(EN)A load lock wafer transfer face is provided at an acute angle with respect to a footprint dimension line, so the length of the footprint dimension line does not include the entire minimum length of the wafer transfer distance that must separate a robot from the wafer transfer face of a load lock. Two adjacent load locks provided for use with a robot have two load lock wafer transfer faces defining a nest, in that each such face is at an acute angle with respect to the footprint dimension line. A robot is mounted for rotation at a fixed location relative to wafer cassettes and to the nested load lock wafer transfer faces, avoiding use of a robot track to move transversely. Because the faces are at the acute angle, there is only a component of, and not the entire, minimum wafer transfer distance extending in the direction of the footprint dimension line. The robot is positioned at least partly in the nest formed by the adjacent load lock faces without requiring rotation of the base of the robot on a vertical axis at the same time as the arms of the robot are moved in an extend motion during wafer transfer into the load lock. The footprint of the modules may be substantially reduced, in that at least one dimension of the footprint is minimized, yet the robot may operate with only relatively simple extend motion to transfer the wafers into the load locks, avoiding more complex motions that include both transverse motion (i.e., on a linear track), and rotate motion.
(FR)La présente invention concerne un sas dont la face de transfert de plaquette forme un angle aigu par rapport à une ligne de cote d'encombrement, de façon que la longueur de la ligne de cote d'encombrement ne comprend pas la longueur minimale intégrale de la distance de transfert de plaquette qui doit séparer un robot de la face de transfert de plaquette d'un sas. Deux sas adjacents destinés à être utilisés avec un robot comprennent deux faces de transfert de plaquette qui définissent un nid, la face précitée formant un angle aigu par rapport à la ligne de cote d'encombrement. Un robot est monté rotatif en un emplacement fixe par rapport aux cassettes de plaquettes et aux faces de transfert de plaquettes du sas formant le nid, ce qui permet d'éviter le recours à une piste de robot pour les mouvements transversaux. Etant donné que les faces du sas forment un angle aigu, seul une composante, et non l'intégralité, de la distance minimale de transfert de plaquette s'étend dans la direction de la ligne de cote d'encombrement. Le robot est placé au moins partiellement dans le nid formé par les faces adjacentes du sas sans que soit nécessaire une rotation de la base du robot sur un axe vertical en même temps que les bras du robot se déplacent dans un mouvement d'extension pendant le transfert des plaquettes dans le sas. On peut réduire sensiblement l'encombrement des modules en minimisant au moins une dimension de l'encombrement, le robot pouvant néanmoins fonctionner en exécutant un mouvement d'extension relativement simple pour transférer les plaquettes dans les sas, et ne devant pas effectuer de mouvements plus complexes comprenant des mouvements transversaux (par exemple, sur une piste linéaire) et des mouvements rotatifs.
Designated States: AE, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)