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1. (WO2001001187) MICROMECHANICAL OSCILLATING DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2001/001187    International Application No.:    PCT/DE2000/001992
Publication Date: 04.01.2001 International Filing Date: 26.06.2000
Chapter 2 Demand Filed:    13.12.2000    
IPC:
G02B 26/08 (2006.01)
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 D-70442 Stuttgart (DE) (For All Designated States Except US).
NIENDORF, Andreas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
FREY, Wilhelm [DE/US]; (US) (For US Only).
FUNK, Karsten [DE/US]; (US) (For US Only)
Inventors: NIENDORF, Andreas; (DE).
FREY, Wilhelm; (US).
FUNK, Karsten; (US)
Priority Data:
199 41 045.3 28.06.1999 DE
Title (DE) MIKROSCHWINGVORRICHTUNG
(EN) MICROMECHANICAL OSCILLATING DEVICE
(FR) DISPOSITIF A MICRO-OSCILLATIONS
Abstract: front page image
(DE)Es wird eine Mikroschwingvorrichtung (5), insbesondere ein Mikroschwingspiegel vorgeschlagen, die eine Schwingstruktur (10) aufweist, und die über mindestens eine Federstruktur (13) mit einem Tragkörper (14) zumindest weitgehend freitragend verbunden ist. Dabei weist die Federstruktur (13) mindestens ein, eine Torsionsachse (20) definierendes Torsionsfederelement (11) auf. Um diese Torsionsachse (20) ist eine Torsionsschwingung der Schwingstruktur (10) anregbar. Weiter weist die Federstruktur (13) mindestens eine Wandlerstruktur (12) auf, die zumindest weitgehend senkrecht zu der Torsionsachse (20) auf das Torsionsfederelement (11) einwirkende äußere Kräfte zumindest teilweise in parallel zu der Torsionsachse (20) auf das Torsionsfederelement (11) einwirkende Kräfte wandelt.
(EN)The invention relates to a micromechanical oscillating device (5), especially a micromechanical oscillating mirror device, which comprises an oscillating structure (10) and which is connected, via at least one spring structure (13), to the support body (14) in an at least largely unsupported manner. The spring structure (13) comprises at least one torsion spring element (11) that defines a torsion axis (20). A torsional oscillation of the oscillating structure (10) can be excited around this torsion axis (20). The spring structure (13) also comprises at least one converter structure (12) which converts external forces that act upon the torsion spring element (11) in a manner that is at least largely perpendicular to the torsion axis (20) at least partially into forces that act upon the torsion spring element (11) in a manner that is parallel to the torsion axis (20).
(FR)L'invention concerne un dispositif à micro-oscillations (5), notamment un miroir à micro-oscillations qui présente une structure oscillante (10) et qui est relié à un corps porteur (14) au moins dans une large mesure de manière non soutenue, par l'intermédiaire d'au moins une structure à effet ressort. A cet effet, la structure à effet ressort (13) présente au moins un élément ressort de torsion (11) qui définit un axe de torsion (20). Une oscillation de torsion de la structure oscillante (10) peut être lancée autour de l'axe de torsion (20). La structure à effet ressort (13) comporte en outre au moins une structure de conversion (12) qui convertit les forces extérieures qui s'exercent sur l'élément de ressort de torsion (11) au moins dans une large mesure perpendiculairement à l'axe de torsion (20), au moins en partie en forces agissant sur l'élément de ressort de torsion (11) parallèlement à l'axe de torsion (20).
Designated States: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)