WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2000079356) ROBOT PRE-POSITIONING IN A WAFER PROCESSING SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2000/079356    International Application No.:    PCT/US2000/017430
Publication Date: 28.12.2000 International Filing Date: 23.06.2000
Chapter 2 Demand Filed:    10.01.2001    
IPC:
G05B 19/418 (2006.01)
Applicants: SILICON VALLEY GROUP, INC. [US/US]; 2240 Ringwood Avenue, San Jose, CA 95131-1716 (US) (For All Designated States Except US).
OH, Hilario [US/US]; (US) (For US Only).
BABIKIAN, Dikran, S. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: OH, Hilario; (US).
BABIKIAN, Dikran, S.; (US)
Agent: MEHRA, Shaalu; Wilson Sonsini Goodrich & Rosati, 650 Page Mill Road, Palo Alto, CA 94304-1050 (US)
Priority Data:
60/140,661 23.06.1999 US
Title (EN) ROBOT PRE-POSITIONING IN A WAFER PROCESSING SYSTEM
(FR) POSITIONNEMENT PREALABLE D'UN ROBOT DANS UN SYSTEME DE TRAITEMENT DE PLAQUETTES
Abstract: front page image
(EN)A wafer cluster tool is described which operates in a regular, periodic fashion. Embodiments of the invention have a periodicity of one sending period. The invention enables the determination of pick-up times for process chambers in the cluster tool, and embodiments of the invention allow the creation and maintenance of an updated timetable. The timetable indicates times when each of the process chambers is to be serviced. These values are updated as the process chambers receive new wafers. Robots in the cluster tool may pre-position themselves in front of modules, or process chambers, to be served. Robot pre-positioning eliminates the wait time of individual modules beyond queue times which have been pre-determined for the modules. This renders the path of the individual robots pre-deterministic, and enables the cluster tool to utilize single gripper robots.
(FR)Cet outil multiposte, destiné à des plaquettes, fonctionne de manière régulière, périodique. Dans certains modes de réalisation de l'invention, cette périodicité correspond à une période d'envoi. L'invention permet de déterminer les temps de collecte des chambres de traitement de l'outil multiposte, ainsi que de créer et conserver un programme de production mis à jour. Ce programme de production indique le moment où chaque chambre de traitement doit être révisée. Ces valeurs sont mises à jour au fur et à mesure que les chambres de traitement reçoivent des nouvelles plaquettes. Les robots de l'outil multiposte peuvent se positionner préalablement eux-mêmes en face des modules ou des chambres de traitement à desservir. Ce positionnement préalable supprime le temps d'attente des modules individuels dépassant le temps d'attente préalablement déterminé pour ces modules, ce qui dote le trajet des robots individuels d'une caractéristique pré-déterministe et permet à l'outil multiposte d'utiliser des robots à organe de préhension unique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)