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1. (WO2000063979) POSITIONING DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2000/063979    International Application No.:    PCT/EP2000/003090
Publication Date: 26.10.2000 International Filing Date: 06.04.2000
Chapter 2 Demand Filed:    02.11.2000    
IPC:
H01L 41/04 (2006.01)
Applicants: PHYSIK INSTRUMENTE (PI) GMBH & CO. [DE/DE]; Polytec-Platz 1-7, D-76337 Waldbronn (DE) (For All Designated States Except US).
KOHLER, Rainer [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: KOHLER, Rainer; (DE)
Agent: KRUSPIG, Volkmar; Meissner, Bolte & Partner, Postfach 86 06 24, D-81633 München (DE)
Priority Data:
199 17 857.7 20.04.1999 DE
199 23 462.0 21.05.1999 DE
Title (DE) POSITIONIERVORRICHTUNG
(EN) POSITIONING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT
Abstract: front page image
(DE)Positioniervorrichtung (100) mit einem, insbesondere einen Piezokeramik-Aktor aufweisenden Positionierantrieb (103), einem Positionssensor (105) und einer eingangsseitig mit einer Steuersignal-Eingabeeinrichtung (101) sowie in einer geschlossenen Regelschleife mit dem Positionssensor verbundenen Ansteuereinrichtng (107-115) für den Positionierantrieb, die zur Ausgabe vorgeformter Ansteuersignale an den Positionierantrieb ausgebildet ist, wobei die Ansteuereinrichtung ein steuerbares Filter (109) mit veränderbaren Filterkoeffizienten aufweist, das über einen Steuereingang mit einer Filterkoeffizienten-Berechnungseinheit (115) verbunden ist, welche über einen ersten Eingang mit der Steuersignal-Eingabeeinrichtung und über einen zweiten Eingang mindestens mit dem Positionssensor verbunden ist und aus eingegebenen Sollpositions-Steuersignalen (X[n]) sowie erfaßten Positionssignalen (S[n]) in Echtzeit die aktuellen Filterkoeffizienten berechnet.
(EN)The invention relates to a positioning device (100) with a positioning drive (103), comprising in particular, a piezoceramic actuator, a positioning sensor (105) and a control device (107-115) for the positioning drive which is connected on the input side to a control-signal input unit (101) and to the positioning sensor in a closed loop. The control device is designed for outputting pre-configured control signals to the positioning drive, whereby the control device has a controllable filter (109) which has modifiable filter co-efficients and which is connected to a filter-co-efficient calculation unit (115) via a control input. The filter co-efficient calculation unit is connected to the control-signal input unit via a first input and at least to the positioning sensor via a second input and calculates the current filter co-efficients from predetermined position-control signals (X[n]) which have been input and from position signals (S[n]) which have been detected in real time.
(FR)L'invention concerne un dispositif de positionnement (100) qui comporte un entraînement de positionnement (103), en particulier pourvu d'un actionneur piézocéramique, un capteur de position (105) et un dispositif de commande (107-115), pour l'entraînement de positionnement, relié, côté entrée, à un dispositif d'entrée de signal de commande (101) et, en boucle de régulation fermée, au capteur de position. Ce dispositif de commande est conçu pour envoyer des signaux de commande mis en forme à l'entraînement de positionnement et présente un filtre (109) commandé dont le coefficient est modifiable et qui est relié, par l'intermédiaire d'une entrée de commande, à une unité de calcul de coefficient de filtre (115), laquelle est reliée, par l'intermédiaire d'une première entrée, au dispositif d'entrée de signal de commande et, par l'intermédiaire d'une seconde entrée, au moins au capteur de position, les coefficients de filtre réels étant calculés en temps réel à partir des signaux de commande pour position théorique (X[n]) entrés, ainsi qu'à partir des signaux de position (S[n]) détectés.
Designated States: CN, JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)