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1. (WO2000063946) BLACK DEFECT CORRECTION METHOD AND BLACK DEFECT CORRECTION DEVICE FOR PHOTOMASK
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2000/063946    International Application No.:    PCT/JP2000/002556
Publication Date: 26.10.2000 International Filing Date: 19.04.2000
IPC:
G03F 1/00 (2012.01), G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: SEIKO INSTRUMENTS INC. [JP/JP]; 8, Nakase 1-chome, Mihama-ku, Chiba-shi, Chiba 261-8507 (JP) (For All Designated States Except US).
TAKAOKA, Osamu [JP/JP]; (JP) (For US Only).
AITA, Kazuo [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: TAKAOKA, Osamu; (JP).
AITA, Kazuo; (JP)
Agent: HAYASHI, Keinosuke; 1493, Sendabori, Matsudo-shi, Chiba 270-2252 (JP)
Priority Data:
11/112623 20.04.1999 JP
Title (EN) BLACK DEFECT CORRECTION METHOD AND BLACK DEFECT CORRECTION DEVICE FOR PHOTOMASK
(FR) PROCEDE DE CORRECTION DE DEFAUT NOIR ET DISPOSITIF DE CORRECTION DE DEFAUT NOIR POUR PHOTOMASQUE
Abstract: front page image
(EN)When a dot matrix whose one dot corresponds to the spot of an ion beam on a treated surface is set on the treated surface and an ion beam is applied to each dot in a treatment region for a certain time to eliminate a black defect, the existence of secondary charged particles, which are emitted from a plurality of dots including a dot in question and dots around the dot and indicate the existence of the black defect, is detected and, in accordance with those detection information, a physical value corresponding to the existence of the black defect is calculated. When the calculated value is reduced to a value not larger than a reference value, it is judged that the treatment of the dot in question has been finished.
(FR)Selon l'invention, lorsqu'une matrice de points, dont un point correspond au spot d'un faisceau ionique sur une surface traitée, est placée sur la surface traitée et un faisceau ionique est appliqué à chaque point dans une zone de traitement, pendant un certain temps, afin d'éliminer un défaut noir, l'existence de particules secondaires chargées, qui sont émises par une pluralité de points, y compris par le point en question et les points autour de ce dernier, et qui indiquent l'existence d'un défaut noir, est détectée et, en fonction de cette information de détection, une valeur physique correspondant à l'existence du défaut noir est calculée. Si la valeur calculée est inférieure à une valeur de référence, il est estimé que le traitement du point en question est terminé.
Designated States: JP, KR, US.
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)