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1. (WO2000061471) DEVICE FOR MANIPULATING AN OBJECT FOR LOADING AND UNLOADING A CLEAN ROOM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2000/061471    International Application No.:    PCT/US2000/008088
Publication Date: 19.10.2000 International Filing Date: 28.03.2000
Chapter 2 Demand Filed:    16.10.2000    
IPC:
H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: BROOKS AUTOMATION GMBH [DE/DE]; Göschwitzer Strasse 25, D-07745 Jena (DE) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, JP, KR, LU, MC, NL, PT, SE, SG only).
BROOKS AUTOMATION, INC. [US/US]; 15 Elizabeth Drive, Chelmsford, MA 01824 (US) (LC only).
MAGES, Andreas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
BIRKNER, Andreas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHULZ, Alfred [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHULTZ, Klaus [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: MAGES, Andreas; (DE).
BIRKNER, Andreas; (DE).
SCHULZ, Alfred; (DE).
SCHULTZ, Klaus; (DE)
Agent: GREEN, Clarence, A.; Perman & Green, LLP, 425 Post Road, Fairfield, CT 06430 (US)
Priority Data:
199 16 932.2 09.04.1999 DE
Title (EN) DEVICE FOR MANIPULATING AN OBJECT FOR LOADING AND UNLOADING A CLEAN ROOM
(FR) DISPOSITIF DE MANIPULATION D'OBJETS POUR LE CHARGEMENT ET LE DECHARGEMENT D'UNE SALLE BLANCHE
Abstract: front page image
(EN)In a device for manipulating an object for loading and unloading a clean room, the problem is to reduce the hardware expense for adjustment devices and for air conditioning while maintaining ergonomic benefits and to further improve the clean room conditions in the device. The device contains a stationary outer part (3) of a housing (2) as well as an inner part (4) that can extend telescopically from it and a receptacle element (11) in the roof area of the inner part (4). For the telescopic extension of the inner part and for the lowering of the receptacle element into the inner part, a common guide rail (16) and a common drive (20) are provided. The receptacle element connected to the drive engages with a driver of the inner part for the telescopic extension of the inner part by vertical upward movement and after reaching an access level (E2, E2), at which the inner part is secured, it can be lowered in the inner part. The inner part is flushed with an air flow coming from the clean room in the region of each level. The device is used for loading and unloading of clean rooms with objects that are transported in a container.
(FR)Lors de l'utilisation d'un dispositif de manipulation d'objets pour le chargement et le déchargement d'une salle blanche, le problème est de réduire les dépenses en matériel de réglage des dispositifs et de conditionnement de l'air, tout en préservant les avantages ergonomiques, et d'améliorer les conditions de salle blanche dans le dispositif utilisé. Le dispositif faisant l'objet de cette invention comprend une partie extérieure fixe (3) d'un logement (2), ainsi qu'une partie intérieure (4) qui peut se déployer de façon télescopique, et un élément réceptacle (11) situé dans la zone de toit de la partie interne (4). Pour le déploiement télescopique de la partie interne et pour l'abaissement de l'élément réceptacle dans la partie interne, on utilise un rail de guidage commun (16) et un entraînement commun (20). L'élément réceptacle relié à l'entraînement vient en prise avec une commande de la partie interne, pour le déploiement télescopique de la partie interne, par mouvement montant vertical, et après avoir atteint un niveau d'accès (E2-E2), où la partie interne est fixée, ledit élément réceptacle peut être abaissé dans la partie interne. La partie interne est nettoyée par un flux d'air provenant de la salle blanche dans la région de chacun des niveaux. Ce dispositif est utilisé pour charger et décharger des salles blanches avec des objets transportés dans un récipient.
Designated States: CH, GB, JP, KR, LC, SG, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)