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1. (WO2000061306) METHOD AND DEVICE FOR CLEANING SUBSTRATES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2000/061306    International Application No.:    PCT/EP2000/002339
Publication Date: 19.10.2000 International Filing Date: 16.03.2000
Chapter 2 Demand Filed:    08.11.2000    
IPC:
B08B 3/10 (2006.01), B08B 7/00 (2006.01), B24C 1/00 (2006.01), B24C 3/32 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: STEAG MICROTECH GMBH [DE/DE]; Carl-Benz-Strasse 10, D-72124 Pliezhausen (DE) (For All Designated States Except US).
LOHMÜLLER, Jürgen [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: LOHMÜLLER, Jürgen; (DE)
Priority Data:
199 16 345.6 12.04.1999 DE
Title (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM REINIGEN VON SUBSTRATEN
(EN) METHOD AND DEVICE FOR CLEANING SUBSTRATES
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF DE NETTOYAGE DE SUBSTRATS
Abstract: front page image
(DE)Um bei einem Verfahren und einer Vorrichtung zum Reinigen von Substraten, insbesondere Halbleiterwafern, bei dem bzw. bei der vor und/oder während der Reinigung eine Flüssigkeit auf das Substrat aufgebracht wird, auf einfache und kostengünstige Weise eine zuverlässige Reinigung der Substrate zu ermöglichen, werden Eiskristalle in die auf dem Substrat befindliche Flüssigkeit eingebracht.
(EN)The invention relates to a method and device (1) for cleaning substrates, in particular, semiconductor wafers (2), in which or with which a fluid is applied to the substrate before or during cleaning. The aim of the invention is to reliably clean substrates in a simple and economical manner. To this end, ice crystals are introduced into the fluid located on the substrate.
(FR)L'invention concerne un procédé et un dispositif de nettoyage (1) de substrats, notamment de plaquettes (2). Selon ce procédé, un liquide est appliqué sur le substrat avant et/ou pendant le nettoyage. Pour obtenir un nettoyage fiable, simple et économique, des cristaux de glace sont introduits dans le liquide se trouvant sur le substrat.
Designated States: JP, KR, SG, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)