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1. (WO2000060668) DEVICE AND METHOD FOR REMOVING THIN LAYERS ON A SUPPORT MATERIAL
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2000/060668    International Application No.:    PCT/EP2000/003132
Publication Date: 12.10.2000 International Filing Date: 07.04.2000
Chapter 2 Demand Filed:    31.10.2000    
IPC:
B23K 26/08 (2006.01), B23K 26/36 (2006.01), H01L 31/18 (2006.01)
Applicants: SIEMENS SOLAR GMBH [DE/DE]; Frankfurter Ring 152, D-80807 München (DE) (For All Designated States Except US).
VOGT, Helmut [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KARG, Franz [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: VOGT, Helmut; (DE).
KARG, Franz; (DE)
Agent: ZANGS, Rainer, E.; Hoffmann . Eitle, Arabellastrasse 4, D-81925 München (DE)
Priority Data:
199 15 640.9 07.04.1999 DE
199 27 529.7 16.06.1999 DE
199 33 703.9 19.07.1999 DE
Title (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ABTRAGEN VON DÜNNEN SCHICHTEN AUF EINEM TRÄGERMATERIAL
(EN) DEVICE AND METHOD FOR REMOVING THIN LAYERS ON A SUPPORT MATERIAL
(FR) DISPOSITIF ET PROCEDE PERMETTANT DE RETIRER DES COUCHES MINCES RECOUVRANT UN MATERIAU SUPPORT
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Abtragen von dünnen Schichten auf einem Trägermaterial, insbesondere zum Abtragen von Randschichten einer Dünnschicht-Solarzelle. Um eine kostengünstige Abtragung von Streifen bis zu einigen Millimetern Breite ohne Beschädigung des unter der abzutragenden Schicht liegenden Substrats einer Dünnschicht-Solarzelle zu ermöglichen, ist eine Laserbearbeitungsvorrichtung mit einem Laserresonator und einem Optischen System vorgesehen, das den durch den Laserresonator erzeugten Bearbeitungsstrahl auf der zu bearbeitenden Oberfläche über eine Fläche im Bereich von 1 mm?2¿ bis zu 1 cm?2¿ mit einer im Wesentlichen homogenen Leistungsverteilung abbildet. Bei Impulsdauern kleiner 100 ns und einer Impulsenergiedichte im Bereich von 0,1 J/cm?2¿ bis 10 J/cm?2¿ kann das Substrat wirkungsvoll von den Dünnschichten befreit werden.
(EN)The invention relates to a device and a method for removing thin layers on a support material, especially for removing barrier layers of a thin-layer solar cell. The aim of the invention is to provide an economical means of removing strips of up to a few millimetres in width without damaging the substrate of the thin-layer solar cell underlying the layer to be removed. To this end, a laser treatment device with a laser resonator and an optical system is provided. The optical system projects the treatment beam produced by the layer resonator over an area of 1 mm?2¿ to 1 cm?2¿ on the surface to be treated with an essentially homogenous distribution of power. Thin layers can be effectively removed from the substrate at pulse width of less than 100 ns and with a pulse energy density of 0.1 J/cm?2¿ to 10 J/cm?2¿.
(FR)L'invention concerne un dispositif et un procédé permettant de retirer des couches minces recouvrant un matériau support, servant en particulier à retirer des barrières de surfaces d'une cellule solaire à couches minces. Afin de retirer à moindre coût des bandes larges d'au maximum quelques millimètres sans risquer d'endommager le substrat de la cellule solaire à couches minces, se trouvant en-dessous de la couche à éliminer, on utilise un dispositif de traitement au laser doté d'un résonateur laser et d'un système optique qui reproduit le rayon de traitement produit par le résonateur laser sur la surface à traiter sur une zone comprise entre 1 mm?2¿ et 1 cm?2¿ avec une répartition de puissance essentiellement homogène. Des durées d'impulsion inférieures à 100 ns et une densité d'énergie d'impulsion comprise entre 0,1 J/cm?2¿ et 10 J/cm?2¿ permettent de retirer les couches minces du substrat sans l'altérer.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)