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1. (WO2000059003) DEVICE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR PRODUCTS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2000/059003    International Application No.:    PCT/DE2000/000942
Publication Date: 05.10.2000 International Filing Date: 24.03.2000
Chapter 2 Demand Filed:    13.09.2000    
IPC:
H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: INFINEON TECHNOLOGIES AG [DE/DE]; St.-Martin-Strasse 53, D-81541 München (DE) (For All Designated States Except US).
ELGER, Jürgen [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: ELGER, Jürgen; (DE)
Agent: EPPING HERMANN & FISCHER; Postfach 12 10 26, 80034 München (DE)
Priority Data:
199 13 628.9 25.03.1999 DE
Title (DE) ANLAGE ZUR FERTIGUNG VON HALBLEITERPRODUKTEN
(EN) DEVICE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR PRODUCTS
(FR) INSTALLATION POUR FABRIQUER DES PRODUITS SEMICONDUCTEURS
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Anlage zur Fertigung von Halbleiterprodukten mit mehreren Fertigungseinheiten (2) und Meßeinheiten (3) in wenigstens einem Reinraum (4). Dort ist eine Anordnung von Bearbeitungsstationen (1) vorgesehen, welche wenigstens eine Fertigungs- (2) oder Meßeinheit (3), einen an dieser angeordneten Fertigungspuffer zur Ablage von Halbleiterprodukten sowie ein Handhabungsgerät zum selbsttätigen Anliefern und Abtransportieren der Halbleiterprodukte aufweist, wobei die Bearbeitungsstationen (1) über ein Fördersystem (5) miteinander verbunden sind.
(EN)The invention relates to a device for manufacturing semiconductor products. Said device comprises a plurality of manufacturing units (2) and measuring units (3) in at least one clean room (4). An arrangement of treating stations (1) is provided in said clean room which arrangement comprises at least one manufacturing (2) or measuring unit (3), a manufacturing buffer located adjacent to said unit for depositing semiconductor products and a handling unit for automatically supplying and delivering the semiconductor products. The treatment stations (1) are interlinked via a conveyor system (5).
(FR)Cette invention concerne une installation pour fabriquer des produits semiconducteurs. Cette installation comprend plusieurs unités de production (2) et plusieurs unités de mesure (3) disposées dans au moins une salle blanche (4). Il est proposé d'installer, dans cette salle blanche, un dispositif de stations de traitement (1) comportant au moins une unité de production (2) ou de mesure (3), une mémoire tampon de production disposée sur cette unité et destinée au classement des produits semiconducteurs, ainsi qu'un appareil de manipulation pour livrer et évacuer les produits semiconducteurs de façon automatique. Les stations de traitement (1) sont reliées les unes aux autres par un système de transport (5).
Designated States: JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)