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1. (WO2000058533) REACTION CHAMBER FOR AN EPITAXIAL REACTOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2000/058533    International Application No.:    PCT/EP2000/002364
Publication Date: 05.10.2000 International Filing Date: 17.03.2000
Chapter 2 Demand Filed:    11.10.2000    
IPC:
C30B 25/14 (2006.01)
Applicants: LPE SPA [IT/IT]; Via Dei Giovi, 7, I-20021 Bollate (IT) (For All Designated States Except US).
PRETI, Franco [IT/IT]; (IT) (For US Only).
OGLIARI, Vincenzo [IT/IT]; (IT) (For US Only).
TARENZI, Giuseppe [IT/IT]; (IT) (For US Only)
Inventors: PRETI, Franco; (IT).
OGLIARI, Vincenzo; (IT).
TARENZI, Giuseppe; (IT)
Agent: MICHELOTTI, Guiliano; Galleria San Babila, 4/C, I-20122 Milano (IT)
Priority Data:
MI99A000607 25.03.1999 IT
Title (EN) REACTION CHAMBER FOR AN EPITAXIAL REACTOR
(FR) CHAMBRE DE REACTION POUR UN REACTEUR EPITAXIAL
Abstract: front page image
(EN)Reaction chamer (10) for an epitaxial reactor comprising a belljar (14) made of insulating, transparent and chemically resistant material, a susceptor (24) provided with disk-shaped cavities (34a-n) for receiving wafers (36a-n) of material to be treated and having an insulating and chemically resistant plate (40) arranged above it, and a diffuser (54) consisting of a plurality of outlet pipes (106a-f) mounted on a cap (52) fixed to an upper opening (50) of the belljar (14).
(FR)L'invention concerne une chambre de réaction (10) pour un réacteur épitaxial comprenant une cloche (14) constituée d'une matière d'isolation transparente et chimiquement résistante, un suscepteur (24) pourvu de cavités en forme de disque (34a-n) destinées à recevoir des plaquettes de réception (36a-n) d'une matière devant être traitée, une plaque d'isolation chimiquement résistante (40) étant disposée au-dessus dudit suscepteur, enfin un diffuseur (54) constitué d'une pluralité de tuyaux de sortie (106a-f) montés sur un capuchon (52) fixé sur une ouverture supérieure (50) de la cloche (14).
Designated States: CN, JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)