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1. WO2000042480 - QUALITY SURVEILLANCE OF A PRODUCTION PROCESS

Publication Number WO/2000/042480
Publication Date 20.07.2000
International Application No. PCT/DE2000/000144
International Filing Date 17.01.2000
Chapter 2 Demand Filed 31.07.2000
IPC
G07C 3/14 2006.01
GPHYSICS
07CHECKING-DEVICES
CTIME OR ATTENDANCE REGISTERS; REGISTERING OR INDICATING THE WORKING OF MACHINES; GENERATING RANDOM NUMBERS; VOTING OR LOTTERY APPARATUS; ARRANGEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS FOR CHECKING NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
3Registering or indicating the condition or the working of machines or other apparatus, other than vehicles
14Quality control systems
CPC
G07C 3/14
GPHYSICS
07CHECKING-DEVICES
CTIME OR ATTENDANCE REGISTERS; REGISTERING OR INDICATING THE WORKING OF MACHINES; GENERATING RANDOM NUMBERS; VOTING OR LOTTERY APPARATUS; ARRANGEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS FOR CHECKING NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
3Registering or indicating the condition or the working of machines or other apparatus, other than vehicles
14Quality control systems
Y02P 90/22
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
90Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
02Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
22characterised by quality surveillance of production
Applicants
  • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Leonrodstrasse 54 D-80636 Muenchen, DE (AllExceptUS)
  • X-FAB SEMICONDUCTOR FOUNDRIES AG [DE/DE]; Haarbergstrasse 67 D-99097 Erfurt, DE (AllExceptUS)
  • OECHSNER, Richard [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • TSCHAFTARY, Thomas [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • STRZYZEWSKI, Piotr [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • PFITZNER, Lothar [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • SCHNEIDER, Claus [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • HENNIG, Peter [DE/DE]; DE (UsOnly)
Inventors
  • OECHSNER, Richard; DE
  • TSCHAFTARY, Thomas; DE
  • STRZYZEWSKI, Piotr; DE
  • PFITZNER, Lothar; DE
  • SCHNEIDER, Claus; DE
  • HENNIG, Peter; DE
Agents
  • LEONHARD, Reimund; Leonhard Olgemoeller Fricke Postfach 10 09 57 D-80083 München, DE
Priority Data
199 01 410.815.01.1999DE
199 01 486.817.01.1999DE
199 02 795.125.01.1999DE
Publication Language German (DE)
Filing Language German (DE)
Designated States
Title
(DE) QUALITATSÜBERWACHUNG BEI EINER FERTIGUNG
(EN) QUALITY SURVEILLANCE OF A PRODUCTION PROCESS
(FR) CONTROLE DE LA QUALITE DANS UNE FABRICATION
Abstract
(DE)
Die Erfindung befaßt sich mit einem Verfahren zur Überwachung der Qualität einer Vielzahl von technischen Produkttypen (P, P', P'), die in einem quasi-parallelen Fertigungsprozeß hergestellt werden. Es geht der Erfindung darum, nicht jeden zu kontrollierenden Parameter in einer eigenen Darstellung zu überwachen, sondern eine Vielzahl von aus dem Prozeß gewonnenen Prozeßdaten möglichst übersichtlich darzustellen. Hierzu schlägt die Erfindung für die quasi-parallele Fertigung von verschiedenen Produkttypen vor, aus einer Stichprobe eines ersten Produkttypes in einer Fertigunsstation (S1) aus Meßwerten eines technischen Produktparameters einen Mittelwert zu berechnen und diesen Mittelwert in einen mehrdimensionalen Mittelwertvektor als ein Skalar einzuspeichern. Der mehrdimensionale Mittelwert wird erst nach Ablauf einer festgelegten Zeitspanne (T1) in einen Zustandswert (T2) für die Fertigung der mehreren Produkttypen in der Fertigungsstation umgerechnet. Während der festgelegten Zeitspanne (T1) können nacheinander mehrere Mittelwerte aus dem Fertigunsprozeß Einfluß auf einzelne Skalare des mehrdimensionalen Mittelwertes nehmen. Die Zustandsgröße kann anhand einer T2-Hotelling-Statistik errechnet werden.
(EN)
The invention relates to a method for surveying the quality of a number of technical product types (P, P', P') which are produced in a quasi-parallel production process. The aim of the invention is to represent a number of process data obtained from the process with as much of an overview as possible rather than surveying each individual parameter to be controlled with its own representation. To this end, the quasi-parallel production of various product types is surveyed by calculating an average from measured values of a technical product parameter from a sample of a first product type in a production station (S1) and storing this average in a multidimensional averages vector in the form of a scalar. At the end of a fixed interval of time (T1), the multidimensional average is converted into a state value (T2) for the production of several product types in the production station. Several averages from the production process can influence individual scalars of the multidimensional average during the fixed interval of time. The state variable can be calculated using a T2 Hotelling statistic.
(FR)
L'invention concerne un procédé de contrôle de la qualité d'une pluralité de types de produit (P, P', P'') qui sont fabriqués quasiment en parallèle, en un processus de fabrication. Selon l'invention, il ne faut pas surveiller chacun des paramètres à contrôler sous une représentation propre mais représenter, de la façon donnant la plus grande vue d'ensemble possible, une pluralité de données de processus obtenues à partir du processus. A cet effet, il est proposé, selon l'invention, pour la fabrication quasiment en parallèle de différents types de produit, de calculer une valeur moyenne à partir de valeurs moyennes d'un paramètre de produit technique, obtenues à partir d'un contrôle par échantillons d'un premier type de produit, dans une station de fabrication (S1) et de mémoriser cette valeur moyenne dans un vecteur de valeur moyenne multidimensionnelle, en tant que grandeur scalaire. La valeur moyenne multidimensionnelle est, seulement après écoulement d'une période fixée (T1), convertie en une valeur d'état (T2) pour la fabrication de plusieurs types de produit, dans la station de fabrication. Pendant la période fixée (T1), plusieurs valeurs moyennes tirées du processus de fabrication peuvent, l'une après l'autre, exercer une influence sur différentes grandeurs scalaires de la valeur moyenne multidimensionnelle. La grandeur d'état peut être calculée sur la base d'une statistique T2 d'Hotelling.
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