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1. WO2000041220 - TRANSPORT DEVICE

Publication Number WO/2000/041220
Publication Date 13.07.2000
International Application No. PCT/DE2000/000044
International Filing Date 05.01.2000
Chapter 2 Demand Filed 14.06.2000
IPC
B65G 13/04 2006.01
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
13Roller-ways
02having driven rollers
04all rollers driven
B65G 13/071 2006.01
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
13Roller-ways
02having driven rollers
06Roller driving means
071with frictional engagement
H01L 21/677 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components
677for conveying, e.g. between different work stations
CPC
B65G 13/04
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
13Roller-ways
02having driven rollers
04all rollers driven
B65G 13/071
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
13Roller-ways
02having driven rollers
06Roller driving means
071with frictional engagement
H01L 21/67706
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
67703between different workstations
67706Mechanical details, e.g. roller, belt
H01L 21/6773
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
67703between different workstations
6773Conveying cassettes, containers or carriers
Applicants
  • INFINEON TECHNOLOGIES AG [DE/DE]; St.-Martin-Str. 53 D-81541 München, DE (AllExceptUS)
  • MELOJER, Walter [AT/DE]; DE (UsOnly)
  • RAUTER, Gerhard [AT/DE]; DE (UsOnly)
  • BRÜCKNER, Gerd [AT/DE]; DE (UsOnly)
Inventors
  • MELOJER, Walter; DE
  • RAUTER, Gerhard; DE
  • BRÜCKNER, Gerd; DE
Agents
  • MÜLLER, Frithjof, E.; Müller & Hoffmann Innere Wiener Strasse 17 81667 München, DE
Priority Data
199 00 461.708.01.1999DE
Publication Language German (DE)
Filing Language German (DE)
Designated States
Title
(DE) TRANSPORTVORRICHTUNG
(EN) TRANSPORT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRANSPORT
Abstract
(DE)
Bisherige Transportvorrichtungen für Transportbehälter von Wafern (sog. Carrier) u.ä. hatten den Nachteil, daß mit lediglich einer Antriebsrolle nur eine ungleichmäßige Fortbewegung des Transportbehälters erreicht wurde. Zur Überwindung dieses Problems stellt die Erfindung eine Transportvorrichtung bereit, bei der zwei miteinander gekoppelte Antriebswalzen (7, 9) einander gegenüberstehen, die beide eine gleichmäßige Antriebskraft auf die Stege eines Behälters (4) ausüben, so daß dieser linear und ruckfrei weitertransportiert wird. Dementsprechend ist die Erfindung auf eine Transportvorrichtung für Behälter (4) mit zumindest zwei parallel verlaufenden Stegen gerichtet, die zumindest zwei parallele Reihen von Laufrollen (5, 6) umfasst, auf denen die Stege laufen können. Die erfindungsgemäße Transportvorrichtung wird gekennzeichnet durch zumindest eine Gruppe von Antriebsrollen (7, 9) zur Übertragung einer Antriebskraft auf die Stege, welche eine Primärantriebsrolle (7) und zumindest eine Sekundärantriebsrolle (9) umfasst, wobei jede der Antriebsrollen (7, 9) in einer Reihe von Laufrollen (5, 6) eingegliedert ist, die Primärantriebsrolle (7) mittels eines Motors (8) antreibbar oder angetrieben ist und die Antriebsrollen (7, 9) der zumindest einen Gruppe von Antriebsrollen (7, 9) so miteinander gekoppelt sind, daß die Primärantriebsrolle (7) die zumindest eine Sekundärantriebsrolle (9) antreibt oder antreiben kann.
(EN)
Known transport devices for transport containers of wafers (so-called carriers) and the like had the disadvantage that with only one drive roller only a non-uniform progression of the transport container was achieved. To overcome this problem, the invention provides a transport device in which two drive rollers (7, 9) are coupled with and face one another. Both drive rollers exert a uniform driving force on the webs of a container (4) so that said container is transported linearly and without jolts. The invention thus relates to a transport device for containers (4) with at least two parallel webs that comprise at least two parallel rows of castors (5, 6) on which the webs can run. The inventive transport device is characterized by at least one group of drive rollers (7, 9) for transmitting a driving force to the webs. Said group of drive rollers comprises one primary drive roller (7) and at least one secondary drive roller (9). The drive rollers (7, 9) are integrated into one row of castors (5, 6) and the primary drive roller (7) can be or is driven by a motor (8). The drive rollers (7, 9) of the at least one group of drive rollers (7, 9) are coupled with one another in such a manner that the primary drive roller (7) drives or can drive the at least one secondary drive roller (9).
(FR)
Les dispositifs de transport existants jusqu'à présent pour récipients de transport de galettes (transporteurs) entre autres, présentent l'inconvénient de ne permettre au récipient de transport de n'effectuer qu'un mouvement irrégulier vers l'avant, en raison de la présence d'un seul rouleau d'entraînement. Pour pallier ce problème, il est prévu un dispositif de transport dans lequel deux rouleaux d'entraînement (7, 9) en accouplement mutuel sont disposés l'un en face de l'autre et exercent une force d'entraînement homogène sur les entretoises d'un récipient (4), de manière que ce dernier puisse être acheminé plus loin de façon linéaire et sans à-coups. L'invention concerne en conséquence un dispositif de transport pour récipients (4) comportant au moins deux entretoises parallèles, qui comprend au moins deux rangées parallèles de galets de roulement (5, 6) sur lesquels les entretoises peuvent rouler. Ce dispositif de transport se caractérise en ce qu'il comprend au moins un groupe de rouleaux d'entraînement (7, 9) pour transmettre une force d'entraînement aux entretoises. Ce groupe présente un rouleau d'entraînement primaire (7) et au moins un rouleau d'entraînement secondaire (9), chacun des rouleaux d'entraînement (7, 9) étant intégré dans une rangée de galets de roulement (5, 6). Le rouleau d'entraînement primaire (7) peut être entraîné ou actionné à l'aide d'un moteur (8) et les rouleaux d'entraînement (7, 9) du groupe (au moins au nombre de un) de rouleaux d'entraînement (7, 9) sont accouplés mutuellement de manière que le rouleau d'entraînement primaire (7) puisse entraîner ou actionner le rouleau d'entraînement secondaire (8) (au moins au nombre de un).
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