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1. WO2000039836 - SEM FOR TRANSMISSION OPERATION WITH A LOCATION-SENSITIVE DETECTOR

Publication Number WO/2000/039836
Publication Date 06.07.2000
International Application No. PCT/EP1999/010193
International Filing Date 17.12.1999
IPC
H01J 37/244 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
244Detectors; Associated components or circuits therefor
H01J 37/28 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26Electron or ion microscopes; Electron- or ion-diffraction tubes
28with scanning beams
CPC
H01J 37/244
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
244Detectors; Associated components or circuits therefor
H01J 37/28
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
28with scanning beams
Applicants
  • PHILIPS ELECTRON OPTICS B.V. [NL/NL]; Achtseweg Noord 5 NL-5651 GG Eindhoven, NL
Inventors
  • HAYLES, Michael, F.; NL
  • VAN VEEN, Gerardus, N., A.; NL
Agents
  • BAKKER, Hendrik; Internationaal Octrooibureau B.V. Prof. Holstlaan 6 NL-5656 AA Eindhoven, NL
Priority Data
98204478.629.12.1998EP
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) SEM FOR TRANSMISSION OPERATION WITH A LOCATION-SENSITIVE DETECTOR
(FR) MICROSCOPE ELECTRONIQUE A BALAYAGE POUR FONCTIONNEMENT EN EMISSION AVEC DETECTEUR REAGISSANT A LA LOCALISATION
Abstract
(EN)
The SEM according to the invention is arranged to detect scattered electrons transmitted by the specimen (22). The detector is constructed so as to have a flat detector surface (26) for a large angular range. In order to select a given angular range, a mask (24) with an eccentric opening (40) is arranged between the specimen and the detector surface and it is also arranged so as to be rotatable. An optimum angle relative to a given direction in the specimen can thus be selected for a given type of contrast. The mask is preferably displaceable in the specimen direction, the detector surface being subdivided into a plurality of parts (26a, 26b) and the assembly formed by the specimen and the detector surface is tiltable through an angle relative to the optical axis (4). A high degree of flexibility is thus achieved for the selection of the electrons to be detected which are scattered by the specimen, so that adjustments can be made so as to achieve an optimum contrast situation.
(FR)
Le microscope électronique à balayage de l'invention est conçu pour détecter les électrons dispersés émis par l'échantillon (22). Le détecteur est construit de façon à présenter une surface de détection plane (26) pour une grande plage angulaire. Afin de sélectionner une grande plage angulaire, un masque (24) à ouverture excentrée (40) est monté entre l'échantillon et la surface de détection, et il est également monté de façon à être capable de rotation. On a ainsi la possibilité, pour un type donné de contraste, de choisir un angle optimal par rapport à une orientation donnée dans l'échantillon. Le masque est de préférence mobile dans le sens de l'échantillon, la surface de détection se subdivisant en une pluralité de parties (26a, 26b). En outre, l'ensemble formé par l'échantillon et la surface de détection est inclinable d'un angle par rapport à l'axe optique (4). Cela offre un niveau élevé de souplesse pour la sélection des électrons à détecter parmi ceux qui sont dispersés par l'échantillon si bien qu'on peut faire des réglages pour obtenir une situation de contraste optimale.
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau