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1. WO2000039569 - NANOTOMOGRAPHY

Publication Number WO/2000/039569
Publication Date 06.07.2000
International Application No. PCT/DE1999/002577
International Filing Date 17.08.1999
Chapter 2 Demand Filed 14.07.2000
IPC
G01N 23/04 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
23Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/-G01N17/178
02by transmitting the radiation through the material
04and forming images of the material
CPC
G01Q 30/04
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
30Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
04Display or data processing devices
G01Q 30/20
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
30Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
20Sample handling devices or methods
Y10S 977/852
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
977Nanotechnology
84Manufacture, treatment, or detection of nanostructure
849with scanning probe
852for detection of specific nanostructure sample or nanostructure-related property
Applicants
  • MAGERLE, Robert [DE/DE]; DE
Inventors
  • MAGERLE, Robert; DE
Agents
  • BAUER, Wulf; Bayenthalgürtel 15 D-50968 Köln, DE
Priority Data
198 59 877.723.12.1998DE
Publication Language German (DE)
Filing Language German (DE)
Designated States
Title
(DE) NANOTOMOGRAPHIE
(EN) NANOTOMOGRAPHY
(FR) NANOTOMOGRAPHIE
Abstract
(DE)
Die Erfindung zeigt eine Vorrichtung zur Ermittlung der räumlichen Verteilung von Eigenschaften einer insbesondere heterogenen Probe (1), bestehend aus: einem Mikroskop (2), welches eine Steuerung (21) aufweist, zur dreidimensionalen Erfassung der Topographie zn(x,y) der Oberfläche n einer Probe (1), einer Sonde (3), welche eine Steuerung (31) aufweist, zur ortsaufgelösten Erfassung einer oder mehrerer Eigenschaften Pj der Probe (1) auf der Topographie zn(x,y) der Oberfläche n, einer Abtragvorrichtung (4), beispielsweise einer Vorrichtung zum Plasmaätzen, zum Ätzen mit reaktiven Gasen oder Flüssigkeiten, oder zum chemomechanischen Polieren, welche eine Steuerung (41) aufweist und mittels welcher in einem Abtragvorgang An,n+1 eine Schicht von der Oberfläche n der Probe (1) abgetragen werden kann, einer computergestützten Bildverarbeitungsvorrichtung (6), welche dazu ausgerüstet ist, aus einer vom Mikroskop ermittelten Folge von Oberflächentopographien zn(x,y) bis zn+m(x,y) und den auf diesen Topographien erfaßten Eigenschaften Pj(zn(x,y)) bis Pj(zn+m(x,y)) ein dreidimensionales Abbild der Probe zu erzeugen.
(EN)
The invention relates to a device for determining the spatial distribution of properties of a notably heterogeneous sample (1). Said device comprises: a microscope (2) having a control (21) for the three-dimensional detection of the topography zn (x,y) of the surface n of a sample (1); a probe (3) having a control (31) for the high-resolution detection of one or more properties Pj of the sample (1) on the topography zn(x,y) of the surface n; a device (4) for removing material, for example a plasma etching device for etching with reactive gases or liquids or for chemomechanical polishing, which has a control (41) and by means of which in a removal process An, n+1 a layer can be removed from the surface n of the sample (1); a computer-assisted image processing device (6) which is equipped such that from a sequence of surface topographies zn(x,y) to zn+m(x,y) determined by the microscope and from the properties Pj(zn(x,y)) to Pj(zn+m(x,y) detected on said topographies it is able to generate a three-dimensional image of the sample.
(FR)
L'invention concerne un dispositif permettant de déterminer la répartition spatiale de caractéristiques d'un échantillon (1) en particulier hétérogène. Ce dispositif est constitué de: un microscope (2), qui comporte un dispositif de commande (21) et sert au relevé tridimensionnel de la topographie zn(x,y) de la surface n d'un échantillon (1); une sonde (3), qui comporte un dispositif de commande (31) et sert au relevé haute définition d'une ou de plusieurs caractéristiques Pj de l'échantillon (1) à partir de la topographie zn(x,y) de la surface n; un dispositif d'enlèvement de matières (4), par exemple un dispositif d'attaque au plasma, un dispositif d'attaque avec des gaz ou des liquides réactifs, ou bien un dispositif de polissage chimiomécanique, qui comporte un dispositif de commande (41) et au moyen duquel une couche de la surface n de l'échantillon (1) peut être enlevée au cours d'un processus d'enlèvement de matière An,n+1; et un dispositif de traitement d'images (6) assisté par ordinateur qui est équipé pour produire une image tridimensionnelle de l'échantillon à partir d'une suite de topographies superficielles zn(x,y) à zn+m(x,y) relevées par le microscope et des caractéristiques Pj(zn(x,y)) à Pj(zn+m(x,y)) relevées à partir de ces topographies.
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