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1. (WO2000030173) CONVEYOR SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2000/030173    International Application No.:    PCT/JP1999/006410
Publication Date: 25.05.2000 International Filing Date: 17.11.1999
Chapter 2 Demand Filed:    06.03.2000    
IPC:
B25J 9/10 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome Minato-ku Tokyo 107-8481 (JP) (For All Designated States Except US).
MATSUSHIMA, Keiichi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: MATSUSHIMA, Keiichi; (JP)
Agent: SUZUYE, Takehiko; Suzuye & Suzuye 7-2, Kasumigaseki 3-chome Chiyoda-ku Tokyo 100-0013 (JP)
Priority Data:
10/326775 17.11.1998 JP
Title (EN) CONVEYOR SYSTEM
(FR) SYSTEME TRANSPORTEUR
Abstract: front page image
(EN)A conveyor system comprising a first arm (29) and a second pulley that are turned integrally with a first drive shaft driven for rotation, a second arm (30) and a first pulley that are turned integrally with a second drive shaft coaxial with the first drive shaft and driven for rotation, third and fourth pulleys that are respectively rotatably mounted on the ends of the first and second arms, and first and second belts respectively passed around the first and third pulleys and around the second and fourth pulleys, wherein first and second revolving members (41, 42) respectively fixed to the third and fourth pulleys and holding members (49, 49a) for holding an object to be conveyed are connected by parallel link mechanisms (43, 44) respectively installed on the first and second revolving members, and the outer diameter ratio between the first and third pulleys is set at 1 : 2 and the outer diameter ratio between the second and fourth pulleys is set at 1 : 2.
(FR)Système transporteur comprenant un premier bras (29) et une deuxième poulie entraînés en rotation, solidairement avec un premier arbre moteur, un deuxième bras (30) et une première poulie entraînés en rotation, solidairement avec un deuxième arbre moteur coaxial au premier, une troisième et une quatrième poulies montées respectivement en rotation aux extrémités du premier et deuxième bras, et une première et une deuxième courroies passant, respectivement, autour de la première et troisième poulies, et autour de la deuxième et quatrième poulies, caractérisé en ce qu'un premier et un deuxième éléments tournants (41, 42) sont fixés, respectivement sur la troisième et quatrième poulies, et en ce que des éléments supports (49, 49a) destinés à maintenir un objet à transporter sont connectés par des mécanismes de liaison parallèles (43, 44) montés, respectivement, sur le premier et deuxième éléments tournants, et en ce que le rapport des diamètres extérieurs entre la première et la troisième poulie est fixé à 1 : 2, et le rapport des diamètres extérieurs entre la deuxième et la quatrième poulies est fixé à 1 : 2.
Designated States: KR, US.
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)