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1. (WO2000030156) VACUUM PROCESSING SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2000/030156    International Application No.:    PCT/JP1999/006408
Publication Date: 25.05.2000 International Filing Date: 17.11.1999
Chapter 2 Demand Filed:    21.03.2000    
IPC:
H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome Minato-ku, Tokyo 107-8481 (JP) (For All Designated States Except US).
OZAWA, Jun [JP/JP]; (JP) (For US Only).
HIROSE, Jun [JP/JP]; (JP) (For US Only).
NARUSHIMA, Masaki [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: OZAWA, Jun; (JP).
HIROSE, Jun; (JP).
NARUSHIMA, Masaki; (JP)
Agent: SUZUYE, Takehiko; Suzuye & Suzuye 7-2, Kasumigaseki 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100-0013 (JP)
Priority Data:
10/343596 17.11.1998 JP
10/369138 25.12.1998 JP
Title (EN) VACUUM PROCESSING SYSTEM
(FR) SYSTEME DE TRAITEMENT SOUS VIDE
Abstract: front page image
(EN)A vacuum processing system characterized by comprising a load port in which an object to be processed is set; a common conveyance chamber disposed adjacent the load port and having an internal space set to atmospheric pressure, and a first movable conveyor disposed in the internal space and capable of carrying the object into and out of the load port; a processing unit having one processing chamber for applying a predetermined treatment to the object, and a vacuum conveyance chamber having an internal space connected to the processing chamber and set to atmospheric pressure, and having a second movable conveyor disposed in the internal space for carrying the object into and out of the processing chamber, the common conveyance chamber having a plurality of processing units connected individually and mutually substantially parallelly, the processing units having their vacuum conveyance chambers connected to the common conveyance chamber and linearly extending substantially orthogonally to the common conveyance chamber, the object to be processed being carried into and out of the vacuum conveyance chamber through the first conveyor.
(FR)Système de traitement sous vide caractérisé en ce qu'il comprend une ouverture de charge dans laquelle on place un objet à traiter, une chambre de convoyage commune, adjacente à l'ouverture de charge et ayant un espace intérieur réglé sous la pression atmosphérique, un premier convoyeur mobile prévu dans ledit espace intérieur et capable de transporter l'objet dans l'ouverture et à l'extérieur de celle-ci; une unité de traitement présentant une chambre de traitement pour l'application d'un traitement déterminé à l'objet, une chambre de convoyage sous vide ayant un espace intérieur connecté à la chambre de traitement et réglé à la pression atmosphérique, et un deuxième convoyeur mobile disposé dans l'espace intérieur pour transporter l'objet à l'intérieur et à l'extérieur de la chambre de traitement, la chambre de convoyage commune présentant une pluralité d'unités de traitement connectées individuellement et mutuellement sensiblement en parallèle, lesdites unités de traitement ayant leurs chambres de convoyage sous vide connectées à la chambre de convoyage commune et s'étendant linéairement et sensiblement perpendiculairement à la chambre de convoyage commune, l'objet à traiter étant transporté par le premier convoyeur, à l'intérieur et à l'extérieur de la chambre de convoyage sous vide.
Designated States: KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)