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1. (WO2000029835) NON-CONTACT TOPOGRAPHICAL ANALYSIS APPARATUS AND METHOD THEREOF
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2000/029835    International Application No.:    PCT/GB1999/003802
Publication Date: 25.05.2000 International Filing Date: 15.11.1999
Chapter 2 Demand Filed:    22.04.2000    
IPC:
G01B 11/30 (2006.01), G01N 21/95 (2006.01)
Applicants: ISIS INNOVATION LIMITED [GB/GB]; 2 South Parks Road Oxford Oxfordshire OX1 3UB (GB) (For All Designated States Except US).
LACZIK, Zsolt, John [GB/GB]; (GB) (For US Only)
Inventors: LACZIK, Zsolt, John; (GB)
Agent: PERKINS, Sarah; Stevens Hewlett & Perkins Halton House 20/23 Holborn London EC1N 2JD (GB)
Priority Data:
9824986.5 13.11.1998 GB
Title (EN) NON-CONTACT TOPOGRAPHICAL ANALYSIS APPARATUS AND METHOD THEREOF
(FR) APPAREIL ET METHODE D'ANALYSE TOPOGRAPHIQUE SANS CONTACT
Abstract: front page image
(EN)Topographic analysis apparatus consists of a light source (1) and associated optics (2) for illuminating a mirrored surface O with a parallel light beam. Light reflected from the mirrored surface is collected by a camera (4) that is mounted on a moveable carriage (5) so that images of the mirrored surface O may be recorded at a plurality of different distances from the surface. The Makyoh topograms produced using this apparatus are then analysed using phase extraction software to iteratively determine the profile of the surface of the object and the object's reflectivity. In this way Makyoh topograms may be used for quantitative as well as qualitative analysis of a reflective surface such as a semiconductor wafer.
(FR)L'appareil d'analyse topographique comprend une source de lumière (1) associée à un dispositif optique destiné à éclairer une surface réfléchissante O avec un faisceau lumineux parallèle. La lumière réfléchie par la surface réfléchissante est recueillie par une caméra (4) montée sur un chariot mobile (5) permettant aux images renvoyées par la surface réfléchissante O d'être enregistrées en de multiples points situés à différentes distances de la surface. Les topogrammes de Makyoh obtenus par l'intermédiaire de cet appareil sont ensuite analysés par un logiciel d'extraction de phase afin de déterminer par itération le profil de la surface de l'objet et la réflectivité de l'objet. Ainsi, les topogrammes de Makyoh peuvent être utilisés pour une analyse tant quantitative que qualitative d'une surface réfléchissante telle qu'une plaquette de semiconducteur.
Designated States: CA, JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)