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1. (WO2000029648) METHODS AND APPARATUS FOR MINIMIZING WHITE POINT DEFECTS IN QUARTZ GLASS CRUCIBLES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2000/029648    International Application No.:    PCT/US1999/027624
Publication Date: 25.05.2000 International Filing Date: 19.11.1999
IPC:
C03B 19/09 (2006.01)
Applicants: HERAEUS SHIN-ETSU AMERICA [US/US]; 4600 NW Pacific Rim Boulevard, Camus, WA 98607 (US)
Inventors: CHRISTMAN, Marc, A.; (US)
Agent: HORTON, Kenneth, E.; Rader, Fishman & Grauer PLLC, 10653 S. River Front Parkway, South Jordan, UT 84095 (US)
Priority Data:
09/195,886 19.11.1998 US
Title (EN) METHODS AND APPARATUS FOR MINIMIZING WHITE POINT DEFECTS IN QUARTZ GLASS CRUCIBLES
(FR) PROCEDES ET APPAREIL PERMETTANT DE REDUIRE LES DEFAUTS APPARAISSANT SOUS FORME DE POINTS BLANCS DANS DES CREUSETS EN VERRE DE QUARTZ
Abstract: front page image
(EN)White point defects arise from silica particles shed into the crucible from arc or plasma discharge electrodes used in the crucible manufacturing process. The silica particles are formed from silica vapor condensation on portions of the electrodes. The invention shields the electrodes from this condensation by providing a non-reactive gas flow over the susceptible portions of the electrodes.
(FR)L'invention concerne des défauts sous forme de points blancs, provenant de particules de silice versées dans un creuset, introduites par l'intermédiaire d'un arc ou d'électrodes de décharge de plasma, utilisées dans le procédé de fabrication d'un creuset. Les particules de silice sont formées à partir de la condensation de la vapeur de silice sur des parties électrodes. L'invention permet de protéger ces électrodes à partir de la condensation, par fourniture d'un écoulement gazeux non réactif sur les zones sensibles des électrodes.
Designated States: JP.
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)