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1. (WO2000029135) BATH SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR WAFERS WITH OBLIQUELY MOUNTED SONIC TRANSDUCERS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2000/029135    International Application No.:    PCT/US1999/025874
Publication Date: 25.05.2000 International Filing Date: 03.11.1999
Chapter 2 Demand Filed:    17.04.2000    
IPC:
B08B 3/12 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: MIRANDA, Henry, R. [US/US]; (US)
Inventors: MIRANDA, Henry, R.; (US)
Agent: AKA, Gary, T.; Townsend and Townsend and Crew LLP 8th floor Two Embarcadero Center San Francisco, CA 94111-3834 (US)
Priority Data:
09/192,148 14.11.1998 US
Title (EN) BATH SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR WAFERS WITH OBLIQUELY MOUNTED SONIC TRANSDUCERS
(FR) SYSTEME DE BAIN POUR PLAQUETTES EN SEMI-CONDUCTEUR A TRANSDUCTEURS SONIQUES MONTES OBLIQUEMENT
Abstract: front page image
(EN)A bath system having a container (20) with vertical upper sidewalls (23), a bottom (25) and oblique walls (24). Each oblique wall (24) joins the bottom (25) to a sidewall (23), with ends (28) joining the sidewalls (23), bottom (25) and oblique walls (24) to form an open enclosure for the container (20). An inlet (14) is mounted to the bottom (25) so that fresh processing liquid passes in a laminar flow over the surfaces of semiconductors wafers (10) held in the container (20). High power sonic transducers (30) are mounted to the oblique walls (24) to deliver unimpeded sonic energy to the surfaces of the wafers (10). In operation, the sonic transducers (30) on each oblique wall (24) are multiplexed so that deleterious interference between sonic waves from the two oblique walls (24) is avoided.
(FR)Un système de bain comprend une cuve (20) présentant des parois latérales supérieures verticales (23), un fond (25) et des parois obliques (24). Chaque paroi oblique (24) relie le fond à une paroi latérale (23), des extrémités (28) reliant les parois latérales (23), le fond (25) et les parois obliques (24) pour former une enceinte ouverte pour la cuve (20). Une entrée (14) est montée au fond (25) de manière qu'un liquide de traitement neuf passe en un écoulement laminaire sur les surfaces de plaquettes en semi-conducteur (10) contenues dans la cuve (20). Des transducteurs soniques (30) à haute puissance sont montés sur les parois obliques (24) afin de délivrer une énergie sonique non entravée aux surfaces des plaquettes (10). Lors du fonctionnement, les transducteurs soniques (30) sur chaque paroi oblique (24) sont multiplexés de manière à éviter que des parasites délétères entre les ondes soniques ne proviennent des deux parois obliques (24).
Designated States: DE, GB.
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)