WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2000028588) MULTI-ELECTRODE ELECTROSTATIC CHUCK HAVING FUSES IN HOLLOW CAVITIES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

IA Considered Withdrawn 2000-02-09 00:00:00.0


Pub. No.:    WO/2000/028588    International Application No.:    PCT/US1999/025989
Publication Date: 18.05.2000 International Filing Date: 03.11.1999
IPC:
H01L 21/683 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US)
Inventors: CLINTON, Jon; (US).
CONTRERAS, Mark; (US).
KUMAR, Anand, H.; (US).
SHAMOUILIAN, Shamouil; (US).
WANG, You; (US).
BEDI, Surinder; (US)
Agent: BERNADICOU, Michael, A.; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP 7th floor 12400 Wilshire Boulevard Los Angeles, CA 90025 (US)
Priority Data:
09/188,038 06.11.1998 US
Title (EN) MULTI-ELECTRODE ELECTROSTATIC CHUCK HAVING FUSES IN HOLLOW CAVITIES
(FR) MANDRIN ELECTROSTATIQUE A PLUSIEURS ELECTRODES, DOTE DE FUSIBLES DANS DES CAVITES CREUSES
Abstract: front page image
(EN)A failure resistant electrostatic chuck (20) for holding a substrate (35) during processing of the substrate (35) comprises one or more electrodes (25) covered by an insulator (30), the electrodes (25) capable of electrostatically holding a substrate (35) when a voltage is applied thereto. An electrical power bus (40) comprises one or more output terminals (45) that conduct voltage to the electrodes (25). The fuses (50) are positioned in hollow cavities (55) in the insulator (30), and electrically connect the electrodes (25) in series to the output terminals (45) of the power bus (40). Each fuse (50) can electrically disconnect an electrode (25) from an output terminal (45) when the insulator (30) covering the electrode (25) punctures and exposes the electrode (25) to a plasma process environment thereby causing a plasma current discharge to flow through the fuse (50).
(FR)Ce mandrin électrostatique (20), résistant aux défaillances et destiné à maintenir un substrat (35) lors du traitement de celui-ci, comprend une ou plusieurs électrodes (25) recouvertes d'un isolant (30) et qui peuvent maintenir un substrat (25) de manière électrostatique lorsqu'on leur applique une tension. Un bus d'alimentation électrique (40) comprend une ou plusieurs bornes de sortie (45), lesquelles apportent la tension aux électrodes (25). Les fusibles (50) sont placés dans des cavités creuses (55) de l'isolant (30) et ils connectent électriquement les électrodes (25) en série, aux bornes de sortie (45) du bus d'alimentation (40). Chaque fusible (50) peut déconnecter électriquement une électrode (25) à partir d'une borne de sortie (45), lorsque l'isolant (30) couvrant l'électrode (25) se perfore et expose l'électrode (25) à un environnement de processus au plasma, provoquant ainsi l'écoulement d'une décharge de courant de plasma à travers le fusible (50).
Designated States: JP, KR.
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)