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1. (WO2000026957) METHOD OF MANUFACTURING A MULTI-LAYERED CERAMIC SUBSTRATE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2000/026957    International Application No.:    PCT/JP1999/006072
Publication Date: 11.05.2000 International Filing Date: 01.11.1999
IPC:
H01L 21/48 (2006.01)
Applicants: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. [JP/JP]; 1006, Oaza Kadoma Kadoma-shi, Osaka 571-8501 (JP) (For All Designated States Except US).
SHIGEMI, Jun [JP/JP]; (JP) (For US Only).
SEGAWA, Shigetoshi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: SHIGEMI, Jun; (JP).
SEGAWA, Shigetoshi; (JP)
Agent: IWAHASHI, Fumio; Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 1006, Oaza Kadoma Kadoma-shi, Osaka 571-8501 (JP)
Priority Data:
10/312528 02.11.1998 JP
Title (EN) METHOD OF MANUFACTURING A MULTI-LAYERED CERAMIC SUBSTRATE
(FR) PROCEDE DE FABRICATION D'UN SUBSTRAT CERAMIQUE MULTICOUCHE
Abstract: front page image
(EN)A method of manufacturing a multi-layered ceramic substrate which does not require dies for making cavities, or aligning the green sheets. The method includes the steps of providing a plurality of green sheets having prefabricated via holes and wiring patterns therein; forming a layer for preventing sintering of adjacent green sheets at an area to become the bottom of the cavity; laminating and sintering the green sheets to create a multi-layered sintered body; and making a cut along the inner wall of the cavity all the way to the bottom of the cavity and removing the inside sintered portion leaving the formed cavity. This method eliminates the need for expensive dies, thus providing a simple, stable, and inexpensive manufacturing method for a multi-layered ceramic substrate.
(FR)Ce procédé de fabrication d'un substrat céramique multicouche ne nécessite pas de poinçons pour pratiquer des cavités ou aligner des feuilles de céramique verte. Ce procédé comprend les étapes suivantes consistant à préparer plusieurs feuilles de céramique verte dans lesquelles on a ménagé préalablement des trous traversants et des motifs de câblage, à former une couche servant à empêcher le frittage des feuilles de céramique verte adjacentes, au niveau d'une zone destinée à devenir le fond de la cavité, à stratifier et fritter les feuilles céramiques vertes pour créer un corps fritté multicouche, et à pratiquer une découpe le long de la paroi intérieure de la cavité jusqu'au fond de celle-ci, puis à enlever la portion frittée intérieure, formant ainsi une cavité. Ce procédé permet d'éliminer le recours à des poinçons chers, et il constitue un procédé de fabrication simple, fiable et bon marché d'un substrat céramique multicouche.
Designated States: CN, ID, KR, SG, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)