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1. (WO2000026950) METHOD AND DEVICE FOR ION IMPLANTING
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2000/026950    International Application No.:    PCT/JP1999/006044
Publication Date: 11.05.2000 International Filing Date: 29.10.1999
Chapter 2 Demand Filed:    24.03.2000    
IPC:
H01J 37/317 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US) (For All Designated States Except US).
FUJIKI, Yoshihiko [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MIURA, Ryuichi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MATSUNAGA, Yasuhiko [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: FUJIKI, Yoshihiko; (JP).
MIURA, Ryuichi; (JP).
MATSUNAGA, Yasuhiko; (JP)
Agent: HASEGAWA, Yoshiki; Soei Patent And Law Firm Okura-Honkan 6-12, Ginza 2-chome Chuo-ku Tokyo 104-0061 (JP)
Priority Data:
10/310665 30.10.1998 JP
Title (EN) METHOD AND DEVICE FOR ION IMPLANTING
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR L'IMPLANTATION IONIQUE
Abstract: front page image
(EN)A wafer support wheel (20) in an ion implanting device (10) is rotated by a first drive motor (34) and swung by a second drive motor (36). A control device (42) stores in advance a plurality of controlling swing speed modes in each of which one of two basic swing speed modes switches to the other at a mid-point within a swing range of the wafer support wheel (20), and controls the second drive motor (36) according to a controlling swing speed mode selectively input via an input device (40). Swinging of the wafer support wheel (20) within the swing range will form two different dosage regions corresponding to the two basic swing speed modes in each wafer.
(FR)On fait tourner une roue porte-plaquettes (20) d'un dispositif d'implantation ionique, au moyen d'un premier moteur d'entraînement (34), et on la fait basculer au moyen d'un deuxième moteur d'entraînement (36). Un dispositif de commande (42) mémorise à l'avance plusieurs modes de vitesse de basculement de commande, le passage d'un mode de vitesse de basculement de base à un autre s'effectuant en un point médian d'une plage de basculement de la roue porte-plaquettes (20), et commande le deuxième moteur d'entraînement (36) selon le mode de vitesse de basculement de commande, entré sélectivement par l'intermédiaire d'un dispositif d'entrée (40). Le basculement de la roue porte-plaquettes (20) dans la plage de basculement permet la formation de deux régions de dosage différentes correspondant aux deux modes de basculement de base dans chaque plaquette.
Designated States: KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)