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1. (WO2000026653) DEW POINT SENSOR USING MEMS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2000/026653    International Application No.:    PCT/US1999/025596
Publication Date: 11.05.2000 International Filing Date: 01.11.1999
IPC:
G01N 5/02 (2006.01), G01N 25/68 (2006.01), G01N 27/00 (2006.01)
Applicants: CLAUD S. GORDON COMPANY [US/US]; 5710 Kenosha Street Richmond, IL 60071 (US)
Inventors: SCHUH, William, C.; (US)
Agent: SARALINO, Mark, D.; Renner, Otto, Boisselle & Sklar, P.L.L. 19th Floor 1621 Euclid Avenue Cleveland, OH 44115 (US)
Priority Data:
09/184,359 02.11.1998 US
Title (EN) DEW POINT SENSOR USING MEMS
(FR) CAPTEUR D'HUMIDITE A SYSTEME MICRO-ELECTROMECANIQUE
Abstract: front page image
(EN)A dew point sensor includes a micro-cantilever beam formed on a substrate. A cooling device and a temperature sensor are in thermal contact with the micro-cantilever beam and a control circuit is coupled to the micro-cantilever beam, the cooling device and the temperature sensor. The control circuit controls and monitors a resonance of the micro-cantilever beam, controls a temperature of the cooling device and receives a temperature indication from the temperature sensor. Using the above information, the dew point temperature is determined by identifying the temperature of the micro-cantilever beam when its resonance changes due to a change in mass caused by the formation of dew on the micro-cantilever beam when the dew point is reached. A method of determining the dew point is also disclosed. The method includes exciting a micro-cantilever beam in a vibratory mode and decreasing a temperature of the micro-cantilever beam. When the temperature of the micro-cantilever beam reaches the dew point, dew forms thereon, thus changing its mass which causes a resonance of the micro-cantilever beam to change. The resonance of the beam is then monitored to detect the dew point.
(FR)La présente invention concerne un capteur à point de rosée comprenant une micro-poutre formée sur un substrat. Un dispositif de refroidissement et un capteur de température sont en contact thermique avec la micro-poutre et un circuit de commande est couplé à la micro-poutre, au dispositif de refroidissement et au capteur de température. Ce circuit commande et suit une résonance de la micro-poutre, régule une température du dispositif de refroidissement et reçoit une indication de température provenant du capteur de température. A l'aide de l'information ci-dessus, la température de point de rosée est déterminée par identification de la température de la micro-poutre lorsque sa résonance change en raison d'un changement de masse provoqué par la condensation d'humidité sur la micro-poutre lorsque le point de rosée est atteint. L'invention concerne aussi un procédé de détermination du point de rosée. Ce procédé consiste à exciter une micro-poutre dans un mode vibratoire et à diminuer la température de la micro-poutre. Lorsque la température de la micro-poutre atteint le point de rosée, de la condensation se forme dessus, changeant ainsi sa masse ce qui provoque un changement de résonance de la micro-poutre. La résonance de la poutre est suivie afin de détecter le point de rosée.
Designated States: AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GE, GH, GM, HU, ID, IL, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, UZ, VN, YU, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)