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1. (WO2000026592) PFC TYPE GAS RECOVERY METHOD AND DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2000/026592    International Application No.:    PCT/JP1999/005937
Publication Date: 11.05.2000 International Filing Date: 27.10.1999
IPC:
B01D 53/00 (2006.01), B01D 53/74 (2006.01), F25J 1/00 (2006.01), F25J 3/00 (2006.01), F25J 3/02 (2006.01), F25J 3/06 (2006.01), F25J 3/08 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
Applicants: EBARA CORPORATION [JP/JP]; 11-1, Haneda Asahi-cho Ohta-ku, Tokyo 144-8510 (JP) (For All Designated States Except US).
HAYAKAWA, Junichi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KOMAI, Tetsuo [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MORI, Yoichi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: HAYAKAWA, Junichi; (JP).
KOMAI, Tetsuo; (JP).
MORI, Yoichi; (JP)
Agent: SHAMOTO, Ichio; Yuasa and Hara Section 206, New Ohtemachi Bldg. 2-1, Ohtemachi 2-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100-0004 (JP)
Priority Data:
10/309195 29.10.1998 JP
Title (EN) PFC TYPE GAS RECOVERY METHOD AND DEVICE
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF DE RECUPERATION DE GAZ DE TYPE PFC
Abstract: front page image
(EN)A PFC type gas recovery method and device, wherein with the cryogenic separation process employed and without using a multi-stage fractional distillation device, very low temperature for a cooling trap can be easily attained by using a small-capacity refrigerator and high-purity PFC type gas can be recovered. The PFC type gas recovery method and device for recovering PFC type gas from PFC-type-gas-containing mixed gas discharged from a vacuum processing chamber (an etching chamber), wherein the PFC type gas recovery device comprises a cooling trap for freeze collection of mixed gas discharged from the vacuum processing chamber connected to an exhaust system in the vacuum processing chamber, and a non-PFC type gas removing device for removing other gases than the PFC type gas from recovered mixed gas that results from the evaporation of the freeze-collected material after stoppage of the operation of the cooling trap, and recovery means for recovering high-concentration PFC type gas obtained by removing other gases than the PFC type gas by the non-PFC type gas removing device.
(FR)L'invention se rapporte à un procédé et à un dispositif de récupération de gaz de type PFC. Le processus de séparation cryogénique mis en oeuvre et l'utilisation d'un dispositif de distillation fractionnée multi-étage permettent d'amener à une température très basse un piège refroidisseur au moyen d'une unité de réfrigération de faible capacité, ce qui rend possible la récupération de gaz de type PFC. Dans le procédé de récupération de gaz de type PFC à partir d'un mélange gazeux contenant du gaz de type PFC rejeté par une chambre de traitement sous vide (une chambre de gravure), le dispositif de récupération du gaz de type PFC comporte un piège refroidisseur permettant de recueillir par réfrigération du gaz mixte rejeté par la chambre de traitement sous vide reliée à un système d'échappement présent dans ladite chambre; un dispositif d'extraction des gaz qui ne sont pas du type PFC, à partir du gaz mixte récupéré qui résulte de l'évaporation de la matière recueillie par réfrigération après l'arrêt du fonctionnement du piège refroidisseur; et un organe de récupération conçu pour récupérer le gaz de type PFC à concentration élevée par extraction des autres gaz qui ne sont pas de type PFC par le dispositif conçu à cet effet.
Designated States: JP, KR, US.
European Patent Office (DE, FR, GB).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)