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1. (WO2000025347) PLASMA TREATMENT APPARATUS AND METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2000/025347    International Application No.:    PCT/CH1999/000460
Publication Date: 04.05.2000 International Filing Date: 28.09.1999
IPC:
C23C 14/56 (2006.01), C23C 16/54 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT [LI/LI]; FL-9496 Balzers (LI) (For All Designated States Except US).
MARXER, Alexander [LI/LI]; (LI) (For US Only).
MEYERHANS, Andreas [CH/LI]; (LI) (For US Only).
ZUEND, Fredy [CH/CH]; (CH) (For US Only)
Inventors: MARXER, Alexander; (LI).
MEYERHANS, Andreas; (LI).
ZUEND, Fredy; (CH)
Agent: TROESCH SCHEIDEGGER WERNER AG; Siewerdtstrasse 95 Postfach CH-8050 Zürich (CH)
Priority Data:
09/177,894 23.10.1998 US
Title (EN) PLASMA TREATMENT APPARATUS AND METHOD
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT AU PLASMA ET TECHNIQUE D'EXPLOITATION DE CELUI-CI
Abstract: front page image
(EN)An apparatus for plasma treating workpieces in vacuum comprises a stack of plasma chambers (20). Handling of workpieces to and from the plasma chambers of the stack is performed in parallelism by one handling device and through lateral handling openings of the plasma chambers. The handling device is rotatable around an axis parallel to the handling openings of the plasma chambers and comprises transport means simultaneously movable radially with respect to the axis of rotation towards and from the handling openings.
(FR)Cet appareil, permettant de traiter sous vide au plasma des pièces à travailler, comporte des chambres à plasma (20). C'est un dispositif de manipulation qui assure la mise en place des pièces dans les chambres à plasma ainsi que leur retrait, en parallèle, par des ouvertures ménagées dans des parties latérales des chambres. Ce dispositif de manipulation, qui pivote autour d'un axe parallèle aux ouvertures ménagées dans les chambres, est pourvu de mécanismes de transport se déplaçant de façon simultanée, radialement par rapport à l'axe de rotation, en l'occurrence en se rapprochant des ouvertures et en s'en éloignant.
Designated States: AU, JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)