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1. (WO2000025344) METHOD FOR MONITORING ALTERNATING CURRENT DISCHARGE ON A DOUBLE ELECTRODE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2000/025344    International Application No.:    PCT/DE1999/003383
Publication Date: 04.05.2000 International Filing Date: 19.10.1999
IPC:
H01J 37/34 (2006.01), H05H 1/00 (2006.01)
Applicants: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWAN DTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Leonrodstrasse 68 D-80636 München (DE) (For All Designated States Except US).
MILDE, Falk [DE/DE]; (DE) (For US Only).
WINKLER, Torsten [DE/DE]; (DE) (For US Only).
FICKERT, Andreas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KIRCHHOFF, Volker [DE/DE]; (DE) (For US Only).
FAHLAND, Matthias [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: MILDE, Falk; (DE).
WINKLER, Torsten; (DE).
FICKERT, Andreas; (DE).
KIRCHHOFF, Volker; (DE).
FAHLAND, Matthias; (DE)
Agent: PÄTZELT-SELTMANN-HOFMANN; Ammonstr. 72 D-01067 Dresden (DE)
Priority Data:
198 48 636.7 22.10.1998 DE
Title (DE) VERFAHREN ZUR ÜBERWACHUNG EINER WECHSELSPANNUNGS-ENTLADUNG AN EINER DOPPELELEKTRODE
(EN) METHOD FOR MONITORING ALTERNATING CURRENT DISCHARGE ON A DOUBLE ELECTRODE
(FR) PROCEDE POUR SURVEILLER UNE DECHARGE DE TENSION ALTERNATIVE AU NIVEAU D'UNE DOUBLE ELECTRODE
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Überwachung einer Wechselspannungs-Entladung zwischen den Elektroden einer Doppelelektrode, insbesondere zwischen zwei Targets für die Kathodenzerstäubung, bei dem der Entladungsstrom und/oder die Entladungsspannung jeder der beiden Halbwellen innerhalb einer Periode der Wechselspannungs-Entladung gemessen wird bzw. werden und die Differenz zwischen den jeweiligen Messwerten der zweiten Halbwelle und den entsprechenden Messwerten der ersten Halbwelle mit spezifischen Toleranzvorgaben verglichen wird und bei Überschreitung der Toleranzvorgaben die Energiezufuhr derart abgesenkt wird, dass die Entladung kurzzeitig erlischt.
(EN)The invention relates to a method for monitoring an alternating current discharge between the electrodes of a double electrode, especially between two targets for cathodic sputtering, whereby the discharge current and/or the discharge voltage of each of the two half-waves is/are measured within an alternating current discharge period and the difference between the respective measured values of the second half-wave and the corresponding measured values of the first half-wave are compared with specific tolerance values. When said tolerance values are exceeded, the power supply is reduced so that the discharge is suppressed in a short time.
(FR)L'invention concerne un procédé pour surveiller une décharge de tension alternative entre les électrodes d'une double électrode, notamment entre deux cibles utilisées pour la pulvérisation cathodique. Ce procédé consiste à mesurer l'intensité de décharge et/ou la tension de décharge de chacune des deux demi-ondes à l'intérieur d'une période de décharge de tension alternative et à comparer la différence entre les valeurs de mesure respectives de la deuxième demi-onde et les valeurs de mesure correspondantes de la première demi-onde avec des valeurs prescrites de tolérances spécifiques. En cas de dépassement de ces dernières, l'alimentation en énergie est réduite de sorte que la décharge soit supprimée pendant un court laps de temps.
Designated States: US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)