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1. (WO2000025170) MICROMECHANICAL COMPONENT COMPRISING AN OSCILLATING BODY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2000/025170    International Application No.:    PCT/EP1998/008204
Publication Date: 04.05.2000 International Filing Date: 15.12.1998
Chapter 2 Demand Filed:    08.11.1999    
IPC:
G02B 26/08 (2006.01)
Applicants: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Leonrodstrasse 54, D-80636 München (DE) (For All Designated States Except US).
SCHENK, Harald [DE/DE]; (DE) (For US Only).
DÜRR, Peter [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KÜCK, Heinz [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: SCHENK, Harald; (DE).
DÜRR, Peter; (DE).
KÜCK, Heinz; (DE)
Agent: SCHOPPE, Fritz; Schoppe & Zimmermann, Postfach 71 08 67, D-81458 München (DE)
Priority Data:
198 49 725.3 28.10.1998 DE
Title (DE) MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT SCHWINGKÖRPER
(EN) MICROMECHANICAL COMPONENT COMPRISING AN OSCILLATING BODY
(FR) COMPOSANT MICROMECANIQUE A CORPS OSCILLANT
Abstract: front page image
(DE)Ein mikromechanisches Bauelement weist eine Rahmenschicht (12) und einen Schwingkörper (10), der durch eine Aufhängungseinrichtung (14) in einer die Rahmenschicht (12) durchdringenden Ausnehmung derart gelagert ist, daß der Schwingkörper (10) vertikal zur Rahmenschichtebene um eine Schwingachse schwenkbar ist, auf. Zumindest eine Seitenfläche (16a, 16b) des Schwingkörpers (10), die im wesentlichen senkrecht zur Rahmenschichtebene ist, ist bezüglich zumindest einer inneren Seitenfläche (18a, 18b) der Ausnehmung derart angeordnet, daß eine zwischen denselben gebildete Kapazität durch eine Schwingung des Schwingkörpers (10) variiert, derart, daß durch periodisches Verändern einer Spannung, die zwischen die Rahmenschicht (12) und den Schwingkörper (10) angelegt ist, eine Schwingung des Schwingkörpers (10) um die Schwingachse erzeugbar ist. Ein Trägersubstrat (22) zum Halten der Rahmenschicht (12) ist vorgesehen, wobei das Trägersubstrat (22) derart ausgebildet ist, daß dasselbe einen verglichen mit dem Einfluß der Spannung zwischen Rahmenschicht (12) und Schwingkörper (10) vernachlässigbaren physikalischen Einfluß auf die Erzeugung der Schwingung des Schwingkörpers (10) hat.
(EN)The invention relates to a micromechanical component comprising a frame layer (12) and an oscillating body (10) which is mounted in a recess that penetrates the frame layer (12) by means of a suspension device (14). Said oscillating body (10) is mounted in such a way that it can pivot around an axis of oscillation in a vertical manner with regard to the frame layer plane. At least one lateral surface (16a, 16b) of the oscillating body (10), said surface being essentially vertical with regard to frame layer plane, is arranged in relation to at least one inner lateral surface (18a, 18b) of the recess such that a capacity formed between the same is varied by an oscillation of the oscillating body (10) in such a way that an oscillation of the oscillating body (10) around the axis of oscillation can be generated by periodically varying a voltage applied between the frame layer (12) and the oscillating body (10). A supporting substrate (22) is provided for holding the frame layer (12), whereby the supporting substrate (22) is configured such that it has an insignificant physical influence on the generation of the oscillation of the oscillating body (10) compared to the influence of the voltage applied between the frame layer (12) and the oscillating body (10).
(FR)Un composant micromécanique comporte une couche de châssis (12) et un corps oscillant (10), lequel est monté par un système de suspension (14) dans un évidement traversant la couche de châssis (12), de telle manière que le corps oscillant (10) pivote, verticalement par rapport au plan de la couche de châssis, autour d'un axe d'oscillation. Au moins une surface latérale (16a, 16b) du corps oscillant (10), laquelle est sensiblement perpendiculaire par rapport au plan de la couche de châssis, est disposée, par rapport à au moins une surface latérale intérieure (18a, 18b) de l'évidement, de telle manière qu'une capacité formée entre ces dernières varie grâce à une oscillation du corps oscillant (10) de telle sorte que la modification périodique d'une tension appliquée entre la couche de châssis (12) et le corps oscillant (10) permet de produire une oscillation du corps oscillant (10) autour de l'axe d'oscillation. Un substrat porteur (22) est prévu pour maintenir la couche de châssis (12), ce substrat porteur (22) étant configuré de telle manière qu'il a, sur la production de l'oscillation du corps oscillant (10), une influence physique négligeable comparée à l'influence de la tension entre la couche de châssis (12) et le corps oscillant (10).
Designated States: US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)