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1. (WO1999043022) THERMAL CYCLING MODULE AND PROCESS USING RADIANT HEAT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1999/043022    International Application No.:    PCT/US1999/003550
Publication Date: 26.08.1999 International Filing Date: 18.02.1999
Chapter 2 Demand Filed:    15.09.1999    
IPC:
H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US)
Inventors: SCHAPER, Charles, D.; (US)
Agent: BERNADICOU, Michael, A.; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP 7th floor 12400 Wilshire Boulevard Los Angeles, CA 90025 (US)
Priority Data:
09/028,177 23.02.1998 US
Title (EN) THERMAL CYCLING MODULE AND PROCESS USING RADIANT HEAT
(FR) MODULE DE RECYCLAGE ET PROCEDE UTILISANT LA CHALEUR RAYONNEE
Abstract: front page image
(EN)In general, the present invention provides a single thermal cycling module for baking and chilling a substrate, such as a wafer, that is in thermal contact with a foil heater, a heat exchanger, and a radiation heater. The radiation heater thermally heats a fluid contained by the heat exchanger, which in turn thermally bakes the substrate at a desired temperature. When the radiation heater is deactivated, a fluid circulates through the heat exchanger to chill the substrate. The foil heater assists the baking and chilling phases by elevating the temperature of the substrate when necessary to prevent or regulate temperature fluctuations of the substrate temperature. Both the radiation heater and the foil heater can provide several zones for varying the heat applied across the substrate, and a single fluid temperature is provided to the heat exchanger for both baking and chilling cycles.
(FR)La présente invention concerne de façon générale un module de recyclage thermique unique destiné à la cuisson et au refroidissement d'un substrat, tel qu'une plaquette, en contact thermique avec un dispositif de chauffage à feuilles, un échangeur thermique et un dispositif de chauffage à rayonnement. Le dispositif de chauffage chauffe thermiquement un fluide contenu dans l'échangeur thermique, qui, à son tour, fait cuire thermiquement ce substrat à une température voulue. Lorsque le dispositif de chauffage est désactivé, un fluide circule à travers l'échangeur thermique pour refroidir le substrat. Le dispositif de chauffage à feuilles facilite les phases de cuisson et de refroidissement en augmentant la température du substrat au besoin, de manière à prévenir ou réguler les fluctuations thermiques du substrat. Les dispositifs de chauffage à rayonnement et à feuilles peuvent tous deux comprendre plusieurs zones de variation thermique le long du substrat, et une seule température de fluide est assurée à l'échangeur thermique pour, à la fois les cycles de cuisson et les cycles de refroidissement.
Designated States: JP, KR.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)