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1. (WO1999042797) METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING SUBSTRATE TEMPERATURE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1999/042797    International Application No.:    PCT/US1999/003026
Publication Date: 26.08.1999 International Filing Date: 11.02.1999
Chapter 2 Demand Filed:    15.09.1999    
IPC:
G01J 5/00 (2006.01), G01J 5/04 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US)
Inventors: YAM, Mark; (US).
HUNTER, Aaron, M.; (US)
Agent: BERNADICOU, Michael, A.; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP 7th floor 12400 Wilshire Boulevard Los Angeles, CA 90025 (US)
Priority Data:
09/026,855 20.02.1998 US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING SUBSTRATE TEMPERATURE
(FR) PROCEDE ET APPAREIL DE MESURE DE LA TEMPERATURE D'UN SUBSTRAT
Abstract: front page image
(EN)An apparatus for measuring the temperature of a substrate in a thermal processing chamber. The substrate is suspended above a reflector to form a reflecting cavity. A probe of a temperature sensor has an input end positioned to receive radiation from the reflecting cavity and an output end optically coupled to a detector to provide a temperature reading. The temperature sensor is configured to reduce the effect that radiation which has an axis of propagation within an angle of an axis normal to the reflector, e.g., substantially normal radiation from a portion of the substrate adjacent to the input end of the probe, has on the temperature reading.
(FR)L'invention porte sur un appareil de mesure de la température d'un substrat placé dans une chambre de traitement thermique et suspendu au-dessus d'un réflecteur de manière à former une cavité réfléchissante. Le capteur du détecteur de température est situé de manière à ce que son extrémité sensible reçoive le rayonnement de la cavité réfléchissante, et que son extrémité émettrice soit couplée optiquement au détecteur pour fournir une indication de la température. Ledit détecteur est conçu pour réduire l'incidence sur les indications de température du rayonnement dont l'axe de propagation fait un angle avec l'axe normal au réflecteur, c.-à-d. sensiblement normal à la partie du substrat voisine de l'extrémité sensible du capteur.
Designated States: JP, KR.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)