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1. (WO1999042256) SINGLE DRIVE, DUAL PLANE ROBOT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1999/042256    International Application No.:    PCT/US1999/002152
Publication Date: 26.08.1999 International Filing Date: 01.02.1999
Chapter 2 Demand Filed:    13.08.1999    
IPC:
B25J 9/10 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US)
Inventors: CARDUCCI, Jim; (US)
Agent: BERNADICOU, Michael, A.; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP 12400 Wilshire Boulevard 7th floor Los Angeles, CA 90025 (US)
Priority Data:
09/028,448 23.02.1998 US
Title (EN) SINGLE DRIVE, DUAL PLANE ROBOT
(FR) ROBOT A DEUX NIVEAUX ET A ENTRAINEMENT SIMPLE
Abstract: front page image
(EN)The present invention provides a robot and a method of using the robot for transferring objects, namely substrates, through a process system. The robot provides a pair of movable arms mounted to a drive member adapted to move the arms in a rotational path to produce coordinated movements of extension, retraction, and rotation. A pair of upper struts pivotally mounted to the arms at one end pivotally connect to a first blade at their apogee ends to form a frog-leg type assembly. Likewise, a pair of lower struts pivotally mounted to the arms at one end pivotally connect to a second blade, which is radially aligned with the first blade, at their apogee ends to form a frog-leg type assembly. The pivotal connection of the upper struts to the arms are offset from the pivotal connections of the lower struts to the arms to produce a different rate of radial movement of the first blade to the second blade during extension and retraction of the blades. The robot facilitates substrate transfers, such as removal of a processed substrate and insertion of an unprocessed substrate within a processing chamber through a single entry of the robot blades into the processing chamber.
(FR)Cette invention a trait à un robot et à la méthode d'utilisation de celui-ci pour le transfert d'objets, de substrats notamment, dans le cadre d'un système de traitement. Ce robot est muni de deux bras mobiles montés sur un élément d'entraînement conçu pour déplacer ces bras selon une trajectoire rotationnelle afin de donner lieu à des mouvements coordonnés d'extension, de retrait et de rotation. Deux barres de conjonction supérieures montées pivotantes sur une extrémités des bras se raccordent pivotantes à une première lame par leurs extrémités sommitales et forment, de la sorte, un ensemble du type en pattes de grenouille. De la même manière, deux barres de conjonction inférieures montées pivotantes sur une extrémités des bras se raccordent pivotantes à une seconde lame, située dans l'alignement radial de la première, par leurs extrémités sommitales et forment, de la sorte, un ensemble du type en pattes de grenouille. La connexion à pivot des barres de conjonction supérieures aux bras est décalée par rapport à celle des barres inférieures, ce qui entraîne un régime de mouvement radial différent de la première lame relativement à la seconde durant les mouvements d'extension et de retrait des lames. L'utilisation de ce robot facilite des transferts de substrat, notamment l'enlèvement d'un substrat traité et l'insertion d'un autre non traité dans la chambre de traitement, opérations accomplies par une seule introduction des lames du robot dans ladite chambre de traitement.
Designated States: JP, KR.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)