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1. (WO1999040405) CAPACITIVE BASED PRESSURE SENSOR DESIGN
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1999/040405    International Application No.:    PCT/US1999/000563
Publication Date: 12.08.1999 International Filing Date: 11.01.1999
Chapter 2 Demand Filed:    25.08.1999    
IPC:
G01L 9/00 (2006.01)
Applicants: MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 6 Shattuck Road Andover, MA 01810 (US)
Inventors: GRUDZIEN, Christopher, P.; (US)
Agent: GOLDENBERG, Richard, A.; Hale and Dorr LLP 60 State Street Boston, MA 02109 (US)
Priority Data:
09/018,395 04.02.1998 US
Title (EN) CAPACITIVE BASED PRESSURE SENSOR DESIGN
(FR) CONCEPTION DE CAPTEUR DE PRESSION CAPACITIF
Abstract: front page image
(EN)The disclosed pressure transducer assembly includes a first body, a second body, a diaphragm, and an electrode. The first body includes a case, one or more spokes, and a hub. The case has an interior surface. Each of said spokes extends from a first end to a second end. The first end of each spoke contacts the interior surface and the second end of each spoke contacts the hub. The diaphragm is mounted between the first and second bodies. The first body and the diaphragm form a first chamber. The second body and the diaphragm form a second chamber. A portion of the diaphragm flexes in a first direction in response to pressure in the first chamber being greater than pressure in the second chamber. A portion of the diaphragm flexes in a second direction, opposite the first direction, in response to pressure in the second chamber being greater than pressure in the first chamber. The electrode is disposed in the first chamber and is fixed to the hub. A capacitance between the electrode and the diaphragm is representative of a difference between the pressures in the first and second chambers.
(FR)L'ensemble transducteur de pression de l'invention comprend un premier corps, un second corps, une membrane et une électrode. Le premier corps comprend une enveloppe, un ou plusieurs rayons et un moyeu. L'enveloppe a une surface intérieure. Chaque rayon s'étend d'une première extrémité à une seconde extrémité. La première extrémité de chaque rayon vient en contact avec la surface intérieure, et la seconde extrémité avec le moyeu. La membrane est montée entre les premier et second corps. Le premier corps et la membrane forment une première chambre. le second corps et la membrane forment une seconde chambre. Une partie de la membrane fléchit dans un premier sens en réaction à la pression de la première chambre qui est supérieure à la pression de la seconde chambre. Une partie de la membrane fléchit dans un second sens, opposé au premier, en réaction à la pression de la seconde chambre qui est supérieure à la pression de la première chambre. L'électrode est placée dans la première chambre et est fixée au moyeu. Une capacitance entre l'électrode et la membrane représente la différence de pression entre les première et seconde chambres.
Designated States: JP.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)